[实用新型]一种提高碳化硅晶棒切割品质的切割机构

摘要

本实用新型公开了一种提高碳化硅晶棒切割品质的切割机构，包括工作台进给机构、工作台、切削液喷头和切割机构，所述工作台进给机构上方设置有固定板，且工作台进给机构下方设置有限位调节座，所述限位调节座下方通过销轴连接有工作台，且工作台下方固定有鸠尾座，所述鸠尾座两侧均设置有切削液喷头，且鸠尾座下方与切割机构相对应。该提高碳化硅晶棒切割品质的切割机构，采用工作台水平摇摆的基础上增加了工作台的垂直摆动，此切割工艺既可以改善由于工作台水平摆动到最大角度时，钻石线此时接触晶棒的切割面积最大，导致线弓异常变形，不仅改善了切割品质的同时也提高了生产效率和单机产能。

主权项

1.一种提高碳化硅晶棒切割品质的切割机构，包括工作台进给机构(1)、工作台(7)、切削液喷头(8)和切割机构(9)，其特征在于：所述工作台进给机构(1)上方设置有固定板(3)，且工作台进给机构(1)下方设置有限位调节座(6)，所述限位调节座(6)上方中部固定有升降气缸(5)，且升降气缸(5)上端与固定板(3)固定连接在一起，所述升降气缸(5)侧面限位调节座(6)固定有导向柱(2)，且导向柱(2)与固定板(3)侧面设置的导套(4)连接在一起，所述限位调节座(6)下方通过销轴(14)连接有工作台(7)，且工作台(7)下方固定有鸠尾座(13)，所述鸠尾座(13)两侧均设置有切削液喷头(8)，且鸠尾座(13)下方与切割机构(9)相对应。