[实用新型]微压阻式传感器以及阵列结构测试板

摘要

本实用新型公开了微压阻式传感器以及阵列结构测试板。该微压阻式传感器包括支撑体，该支撑体上设有贯穿该支撑体的通孔；所述通孔包括同轴且从下至上依次连接的第一通孔、第二通孔和第三通孔，所述第一通孔和第三通孔为棱锥台形且横截面尺寸从下至上递增，所述第二通孔为棱柱形，在所述第二通孔的轴向并从下至上依次连接有薄膜、肋结构和块结构；所述肋结构包括两个分别与所述第二通孔的内壁连接的第一窄肋区以及依次设于所述两个第一窄肋区之间的宽肋区、第二窄肋区和宽肋区，所述第二窄肋区的宽度为第一窄肋区的宽度的两倍；所述第一窄肋区和第二窄肋区上集成有压电转化器；所述块结构包括两个底部形状与所述宽肋区形状匹配的单元块。

主权项

微压阻式传感器，其特征在于：包括支撑体(1)，该支撑体(1)上设有贯穿该支撑体(1)的通孔；所述通孔包括同轴且从下至上依次连接的第一通孔(21)、第二通孔(22)和第三通孔(23)，所述第一通孔(21)和第三通孔(23)为棱锥台形且横截面尺寸从下至上递增，所述第一通孔(21)和第三通孔(23)的内壁相互平行，所述第二通孔(22)为棱柱形，在所述第二通孔(22)的轴向并从下至上依次连接有薄膜(3)、肋结构和块结构；所述薄膜(3)的四周与所述第二通孔(22)的内壁连接；所述肋结构包括两个分别与所述第二通孔(22)的内壁连接的第一窄肋区(41)以及依次设于所述两个第一窄肋区(41)之间的宽肋区(43)、第二窄肋区(42)和宽肋区(43)，所述第二窄肋区(42)的宽度为第一窄肋区(41)的宽度的两倍；所述第一窄肋区(41)和第二窄肋区(42)上集成有压电转化器(5)；所述块结构包括两个底部形状与所述宽肋区(43)形状匹配并与所述宽肋区(43)连接的单元块(6)。