[实用新型]一种扫描电镜样品台和具有该扫描电镜样品台的扫描电镜有效
| 申请号： | 201721426007.5 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN207558739U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 凌平;马鹏;杨帮林 | 申请（专利权）人： | 深圳市金洲精工科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N23/22 |
| 代理公司： | 深圳青年人专利商标代理有限公司 44350 | 代理人： | 傅俏梅 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于扫描电镜样品台技术领域，提供了一种扫描电镜样品台和具有该扫描电镜样品台的扫描电镜。扫描电镜样品台包括用于夹持样品的夹持部件，所述夹持部件包括用于对合夹持样品的第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部和所述第二夹持部相向的面均设置有用于容纳样品的夹槽，所述第一夹持部和所述第二夹持部之间设置有导向柱，所述第一夹持部和所述第二夹持部之间还连接有锁紧件。所述扫描电镜包括上述的一种扫描电镜样品台。本实用新型所提供的一种扫描电镜样品台和具有该扫描电镜样品台的扫描电镜，可以精准地夹持样品(钻头)，电子束可以垂直于样品表面，检测可靠性佳。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜样品台 夹持部 扫描电镜 本实用新型 夹持部件 夹持 电子束 样品表面 导向柱 锁紧件 地夹 对合 夹槽 相向 钻头 垂直 容纳 检测 | ||
【主权项】：
1.一种扫描电镜样品台，其特征在于，包括用于夹持样品的夹持部件，所述夹持部件包括用于对合夹持样品的第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部和所述第二夹持部相向的面均设置有用于容纳样品的夹槽，所述第一夹持部和所述第二夹持部之间设置有导向柱，所述第一夹持部和所述第二夹持部之间还连接有锁紧件。
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