[实用新型]一种多晶硅还原炉喷气装置有效

专利信息
申请号: 201721413063.5 申请日: 2017-10-30
公开(公告)号: CN207361796U 公开(公告)日: 2018-05-15
发明(设计)人: 吕献涛;杨红兵;任冰洁 申请(专利权)人: 河南恒星新材料有限公司
主分类号: C01B33/035 分类号: C01B33/035
代理公司: 郑州大通专利商标代理有限公司 41111 代理人: 陈大通
地址: 471943 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型属于多晶硅生产技术领域,具体的说是涉及一种多晶硅还原炉喷气装置,主要是为了提供一种结构简单方便,喷射效率高,且进料气体在还原炉内均匀分布的新型多晶硅还原炉喷气装置,该喷气装置主要由喷气底座、中间套管和喷气板组成,在喷气底座的中心设置有进气口,在中间套管的内部设置有与进气口相连通的射流喷射口,在中间套管的内部射流喷射口的外侧还分别设置有相互对称的分流口,在中间套管的外部还套接设置有导流套,在喷气板上设置有与射流喷射口相连通的喷气口,在喷气板上喷气口的外侧还设置有旋流风道口,该喷气装置使得进料气体在还原炉内更加均匀分布,有效的降低了喷射过程中的能量消耗,提高了气体的喷射效率和喷射质量。
搜索关键词: 一种 多晶 还原 喷气 装置
【主权项】:
1.一种多晶硅还原炉喷气装置,其特征在于:该多晶硅还原炉喷气装置主要由喷气底座、中间套管和喷气板组成,喷气底座与中间套管之间以及中间套管与喷气板之间均通过连接螺纹相互连接,在喷气底座的中心设置有进气口,在中间套管的内部设置有与进气口相连通的射流喷射口,在中间套管的内部射流喷射口的外侧还分别设置有相互对称的分流口,在中间套管的外部还套接设置有导流套,其中分流口的位置与导流套的位置相互对应;喷气板采用圆盘型结构设置,在喷气板上设置有与射流喷射口相连通的喷气口,在喷气板上喷气口的外侧还设置有旋流风道口。
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