[实用新型]上下料叉子在线吹扫装置有效
| 申请号： | 201721401156.6 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN207947298U | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 刘党 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫宇光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种上下料叉子在线吹扫装置，其包括设置在自动上下料机的上料处的第一吹风机构和下料处的第二吹风机构，所述第一吹风机构和第二吹风机构均位于叉子运行导轨的上方，所述第一吹风机构的出风口处设有第一电磁阀，所述第二吹风机构的出风口处设有第二电磁阀，所述叉子上设有真空发生器，所述第一电磁阀和第二电磁阀的控制输入端连接到真空发生器的控制输入端。本实用新型能够及时吹扫清理上下料叉子上的碎片，从而提升硅片质量。 | ||
| 搜索关键词： | 吹风机构 叉子 上下料 在线吹扫装置 本实用新型 第一电磁阀 控制输入端 真空发生器 出风口 电磁阀 自动上下料机 运行导轨 下料处 吹扫 硅片 上料 | ||
【主权项】：
1.一种上下料叉子在线吹扫装置，其特征在于：其包括设置在自动上下料机的上料处的第一吹风机构和下料处的第二吹风机构，所述第一吹风机构和第二吹风机构均位于叉子运行导轨的上方，所述第一吹风机构的出风口处设有第一电磁阀，所述第二吹风机构的出风口处设有第二电磁阀，所述叉子上设有真空发生器，所述第一电磁阀和第二电磁阀的控制输入端连接到真空发生器的控制输入端。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
