[实用新型]一种全方位真空镀膜装置有效
申请号: | 201721377618.5 | 申请日: | 2017-10-24 |
公开(公告)号: | CN208038537U | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 陈子宇;吴一;彭绍群 | 申请(专利权)人: | 深圳市南方创新真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其为一种全方位真空镀膜装置,包括装置本体,装置本体包括镀膜装置以及安装在镀膜装置一侧的电器柜,镀膜装置包括用于镀膜的真空仓以及安装在真空仓底部的电机箱。该全方位真空镀膜装置,通过齿轮转动,进而带动锥齿在传动槽内部旋转,带动放置板在放置板槽内部转动,有利于对放置板进行全方位的转动,此时放置板内部的手表可以全方位的接收溅射原子,可以充分的对手表连接处的间隙内进行镀膜,提高了镀膜的效果,实现全方位镀膜。 | ||
搜索关键词: | 放置板 镀膜 真空镀膜装置 镀膜装置 装置本体 真空仓 转动 手表 真空镀膜技术 本实用新型 齿轮转动 槽内部 传动槽 电机箱 电器柜 溅射 锥齿 | ||
【主权项】:
1.一种全方位真空镀膜装置,包括装置本体(1),其特征在于:所述装置本体(1)包括镀膜装置(2)以及安装在镀膜装置(2)一侧的电器柜(3),所述镀膜装置(2)包括用于镀膜的真空仓(21)以及安装在所述真空仓(21)底部的电机箱(22);所述真空仓(21)的顶部内壁上设置有连接架(211),所述连接架(211)的底部安装有阳极板(212),所述阳极板(212)远离所述连接架(211)的一侧安装有靶材(213);所述电机箱(22)的内部安装有电机(221),所述电机(221)的顶部设置有输出轴(2211),所述输出轴(2211)的顶部设置有齿轮(2212);所述真空仓(21)内部靠近所述输出轴(2211)的一端安装有阴极板(222),所述阴极板(222)的顶部设置有基板(223);所述基板(223)的内部开设有若干个放置板槽(224),所述基板(223)中心位置开设有传动槽(225),所述放置板槽(224)的内部嵌设有放置板(226),所述放置板(226)远离所述传动槽(225)一侧设置有转轴(227),所述放置板(226)靠近所述传动槽(225)一侧设置有锥齿(228);所述放置板(226)的内部开设有放置槽(2261),所述放置槽(2261)内部设置有固定杆(2262)。
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