[实用新型]一种玻璃基板承载平台有效
申请号: | 201721362699.1 | 申请日: | 2017-10-20 |
公开(公告)号: | CN207488292U | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 熊海军;沈洪星;张作军;刘晏 | 申请(专利权)人: | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
主分类号: | G01N33/38 | 分类号: | G01N33/38 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 230013 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉及玻璃基板检测设备领域,公开了一种玻璃基板承载平台,该玻璃基板承载平台包括平台,平台用于承载玻璃基板,平台朝向玻璃基板的表面设有多个通气孔;平台内设有气道,气道与多个通气孔连通;气道用于向平台与玻璃基板之间输送空气,使玻璃基板在平台表面浮起,或用于将平台与玻璃基板之间的空气排出,使玻璃基板吸附在平台上。上述实施例中,当向气道内通入空气时,气流由通气孔中吹出,给玻璃基板一个向上的浮力,并在平台与玻璃基板之间形成缓冲作用;当将气道中的空气抽出时,由于玻璃基板上下表面存在压力差,从而使玻璃基板被牢牢地吸附在平台上。 | ||
搜索关键词: | 玻璃基板 气道 承载平台 通气孔 吸附 玻璃基板检测设备 本实用新型 缓冲作用 平台表面 上下表面 输送空气 通入空气 压力差 吹出 浮力 浮起 排出 连通 抽出 承载 | ||
【主权项】:
一种玻璃基板承载平台,其特征在于,包括平台,所述平台用于承载玻璃基板,所述平台朝向所述玻璃基板的一面设有多个通气孔;所述平台内设有气道,且所述气道与所述多个通气孔连通;所述气道用于向所述平台与所述玻璃基板之间输送空气,使所述玻璃基板在所述平台表面浮起,或所述气道用于将所述平台与所述玻璃基板之间的空气排出,使所述玻璃基板吸附在所述平台上。
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