[实用新型]一种磁控溅射镀膜机的旋转靶有效
| 申请号： | 201721361487.1 | 申请日： | 2017-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN207294879U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 宋宇;江维;熊建;全强 | 申请（专利权）人： | 咸宁南玻节能玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 437100 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种磁控溅射镀膜机的旋转靶，属于玻璃镀膜设备技术领域。它解决了旋转靶使用寿命短、冷却效果差等技术问题。一种磁控溅射镀膜机的旋转靶，本旋转靶包括靶芯、冷却管、驱动装置、磁块和靶材，冷却管位于靶芯内，靶芯的一端通过若干个支撑套与靶材固定相连，靶芯的另一端与靶材之间具有一容纳腔，磁块位于容纳腔内，且磁块包裹在靶芯上，冷却管具有进水端和出水端，冷却管的内壁上具有螺旋状的导槽。本实用新型具有冷却效果好、使用寿命长等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 旋转 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射镀膜机的旋转靶，其特征在于，本旋转靶包括靶芯(1)、冷却管(2)、驱动装置(3)、磁块(4)和靶材(5)，所述冷却管(2)位于所述靶芯(1)内，所述靶芯(1)的一端通过若干个支撑套(61)与靶材(5)固定相连，所述靶芯(1)的另一端与靶材(5)之间具有一容纳腔(62)，所述磁块(4)位于所述容纳腔(62)内，且磁块(4)包裹在靶芯(1)上，所述冷却管(2)具有进水端(21)和出水端(22)，所述冷却管(2)的内壁上具有螺旋状的导槽(23)。
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