[实用新型]一种磁控溅射镀膜机的旋转靶有效
| 申请号： | 201721361487.1 | 申请日： | 2017-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN207294879U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 宋宇;江维;熊建;全强 | 申请（专利权）人： | 咸宁南玻节能玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 437100 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 旋转 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射镀膜机的旋转靶，其特征在于，本旋转靶包括靶芯(1)、冷却管(2)、驱动装置(3)、磁块(4)和靶材(5)，所述冷却管(2)位于所述靶芯(1)内，所述靶芯(1)的一端通过若干个支撑套(61)与靶材(5)固定相连，所述靶芯(1)的另一端与靶材(5)之间具有一容纳腔(62)，所述磁块(4)位于所述容纳腔(62)内，且磁块(4)包裹在靶芯(1)上，所述冷却管(2)具有进水端(21)和出水端(22)，所述冷却管(2)的内壁上具有螺旋状的导槽(23)。
2.根据权利要求1所述一种磁控溅射镀膜机的旋转靶，其特征在于，所述驱动装置(3)包括固定设置在靶材(5)上的锥齿轮一(31)、锥齿轮二(32)和驱动齿轮(33)，所述锥齿轮一(31)和锥齿轮二(32)对称设置，且齿牙相向设置，所述驱动齿轮(33)上具有能够分别与锥齿轮一(31)和锥齿轮二(32)啮合的两个倾斜设置的齿圈。
3.根据权利要求2所述一种磁控溅射镀膜机的旋转靶，其特征在于，所述磁控固定在一轴套(71)上，所述轴套(71)与靶芯(1)固定相连，所述轴套(71)的两端分别具有一个屏蔽挡圈(72)。
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