[实用新型]一种单晶硅燃烧过程气爆除杂装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅燃烧过程气爆除杂装置，包括单晶炉，单晶炉的顶端设有炉盖，单晶炉底端的一侧设有第一排气口，第一排气口与第一排气管的一端固定连接，第一排气管的另一端与第一真空泵的进气口固定连接，单晶炉底端的另一侧设有第二排气口，第二排气口与第二排气管的一端固定连接，第二排气管的另一端与第二真空泵的进气口固定连接，第一排气管的一侧与第一铜管的一端固定连接。本实用新型能够在不停炉的状态下直接燃烧排气管氧化物，清除管道内沉积的杂质，提高生产效率，且能够通过排料管将燃烧后的颗粒物集中排入到一个地方进行处理，并且排料管中部设有的过滤器能够过滤掉颗粒物中的有毒物质，减少对空气的污染。

主权项

1.一种单晶硅燃烧过程气爆除杂装置，包括单晶炉(1)，其特征在于，所述单晶炉(1)的顶端设有炉盖(2)，所述单晶炉(1)底端的一侧设有第一排气口(3)，所述第一排气口(3)与第一排气管(4)的一端固定连接，所述第一排气管(4)的另一端与第一真空泵(5)的进气口固定连接，所述单晶炉(1)底端的另一侧设有第二排气口(7)，所述第二排气口(7)与第二排气管(8)的一端固定连接，所述第二排气管(8)的另一端与第二真空泵(9)的进气口固定连接，所述第一排气管(4)的一侧与第一铜管(6)的一端固定连接，所述第一铜管(6)的另一端与连接管(11)的一端固定连接，所述第二排气管(8)的一侧与第二铜管(10)的一端固定连接，所述第二铜管(10)的另一端与连接管(11)的另一端固定连接，所述连接管(11)的底端与第三铜管(12)的一端固定连接，所述第三铜管(12)的另一端与空气泵(14)的出气口固定连接，所述单晶炉(1)一侧的中部设有控制面板，所述控制面板的表面分别设有第一真空泵开关、第二真空泵开关和空气泵开关，所述第一真空泵(5)通过第一真空泵开关、第二真空泵(9)通过第二真空泵开关和空气泵(14)通过空气泵开关均与电源电性连接。