[实用新型]高效扩散石英舟有效
申请号: | 201721331135.1 | 申请日: | 2017-10-16 |
公开(公告)号: | CN207199589U | 公开(公告)日: | 2018-04-06 |
发明(设计)人: | 徐锐;孙铁囤;姚伟忠 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人: | 朱丽莎 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及太阳能电池片制备技术领域,尤其涉及一种高效扩散石英舟,能够将硅片先整理成相互贴合在一起,然后进行取放,降低下片的破片率,减少手套与硅片的接触,防止污染,下片快捷方便,省时,增加产能。 | ||
搜索关键词: | 高效 扩散 石英 | ||
【主权项】:
一种高效扩散石英舟,用于放置多块硅片,其特征在于:所述扩散石英舟包括两个相互平行的底固定杆(2)、相互平行的左底连接杆(31)和右底连接杆(32),设定底固定杆(2)的两端分别为左右方向,所述左底连接杆(31)和右底连接杆(32)分别固定连接在底固定杆(2)的左右两端,且左底连接杆(31)和右底连接杆(32)均和底固定杆(2)相互垂直且固定连接,左底连接杆(31)、右底连接杆(32)和底固定杆(2)的中心线均在同一平面内,设定该平面为平面一,所述左底连接杆(31)的两端上分别竖直设置有左前支撑杆(41)和左后支撑杆(42),右底连接杆(32)的两端上分别竖直设置有右前支撑杆(43)和右后支撑杆(44),左前支撑杆(41)和左后支撑杆(42)的上端之间固定设置有左上连接杆(51),右前支撑杆(43)和右后支撑杆(44)的上端之间固定设置有右上连接杆(52),左前支撑杆(41)和右前支撑杆(43)之间固定设置有前上连接杆(53),左上连接杆(51)和右上连接杆(52)之间设置有后上连接杆(54),所述后上连接杆(54)相对于前上连接杆(53)的距离可调节设置,所述左前支撑杆(41)和左后支撑杆(42)的中部之间还固定设置有左中连接杆(61),右前支撑杆(43)和右后支撑杆(44)的中部之间还固定设置有右中连接杆(62),左中连接杆(61)和右中连接杆(62)之间固定设置有后档杆(63),所述后档杆(63)靠近后上连接杆(54)的下方,后档杆(63)在平面一上的正投影位于底固定杆(2)的后方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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