[实用新型]一种800纳米波段宽带反射型衍射光栅有效
| 申请号： | 201721304701.X | 申请日： | 2017-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN207440322U | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 徐建卫 | 申请（专利权）人： | 上海矽安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人： | 周高 |
| 地址： | 200233 上海市徐汇*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种800纳米波段宽带反射型衍射光栅，涉及反射型光栅，包括衬底，所述衬底上方覆盖有一反射金属层，所述金属层上设有光栅，所述光栅的周期为450〜550纳米、刻蚀深度400〜560纳米，所述光栅占空比为0.4〜0.65，所述金属层的厚度大于300纳米，本实用新型提供一种800纳米波段宽带反射型衍射光栅，结构简单、工艺容易实现，该宽带反射光栅可以使TM偏振光在利特罗入射角的情况下的‑1级衍射效率在105纳米（780〜885纳米）的波长带宽内高于80%，该宽带反射光栅在啁啾脉冲压缩技术中具有重要的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 宽带反射 衍射光栅 宽带反射光栅 光栅 金属层 衬底 本实用新型 反射金属层 反射型光栅 光栅占空比 波长带宽 压缩技术 衍射效率 啁啾脉冲 入射角 刻蚀 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种800纳米波段宽带反射型衍射光栅，其特征在于，包括衬底，所述衬底上方覆盖有一反射金属层，所述金属层上设有光栅，所述光栅的周期为450〜550纳米、刻蚀深度400〜560纳米，所述光栅占空比为0.4〜0.65，所述金属层的厚度大于300纳米。
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