[实用新型]一种对半导体材料进行静电测试的设备有效
| 申请号： | 201721266991.3 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN207457128U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 王锋;钱卫东;曹贺 | 申请（专利权）人： | 苏州索拉科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/60 | 分类号： | G01N27/60 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215006 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种对半导体材料进行静电测试的设备，包括静电发生装置，用于模拟产生不同模式的静电，并释放给被测试对象；电源盒，包括开关电源与DC‑DC高压电源，所述开关电源用于为设备供电，所述DC‑DC高压电源用于模拟产生静电提供高压；上位机平台，用于和静电发生装置通讯兵调控整个设备的运行；线缆，包括供电线、通讯线、高压输出控制线以及高压输出线。本实用新型克服了流水线使用静电测试比较繁琐的问题，可应用于流水线生产，增加了静电测试设备的可移植性和便利性，同时相对节约生产成本，降低行业成本，保证测试的精准度和流水生产的速度。 | ||
| 搜索关键词： | 静电测试 半导体材料 静电发生装置 本实用新型 开关电源 静电 电源 节约生产成本 静电测试设备 高压输出线 流水线生产 上位机平台 输出控制线 测试对象 可移植性 流水生产 设备供电 便利性 电源盒 供电线 精准度 通讯线 线缆 流水线 测试 释放 调控 应用 保证 | ||
【主权项】：
一种对半导体材料进行静电测试的设备，其特征在于：包括静电发生装置，用于模拟产生不同模式的静电，并释放给被测试对象；电源盒，包括开关电源与DC‑DC高压电源，所述开关电源用于为设备供电，所述DC‑DC高压电源用于模拟产生静电提供高压；上位机平台，用于和静电发生装置通讯兵调控整个设备的运行；线缆，包括供电线、通讯线、高压输出控制线以及高压输出线；其中，所述供电线用于连接静电发生装置与电源盒，所述通讯线用于连接静电发生装置与上位机平台，所述高压输出控制线用于连接静电发生装置与电源盒的高压输出值控制端，所述高压输出线用于连接电源盒的高压输出端与静电发生装置的高压输入端。
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