[实用新型]一种冷坩埚的应急冷却系统有效

专利信息
申请号: 201721262771.3 申请日: 2017-09-29
公开(公告)号: CN207262962U 公开(公告)日: 2018-04-20
发明(设计)人: 唐皇哉;胡树金;张清勇 申请(专利权)人: 睿为电子材料(天津)有限公司
主分类号: F27D9/00 分类号: F27D9/00
代理公司: 天津市鼎和专利商标代理有限公司12101 代理人: 谢宇强
地址: 300382 天津市西青区学*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型涉及一种冷坩埚的应急冷却系统,包括冷坩埚、换热器、循环水泵和低位循环水箱,冷坩埚、换热器、循环水泵和低位循环水箱依次通过管路连接,构成一主循环系统回路,还包括高位水箱,高位水箱通过补水电磁阀与冷坩埚的进水口连接,冷坩埚的出水口连接排水管;在主循环系统管路上设有电节点压力表,电节点压力表与蓄电池电连接,蓄电池与补水电磁阀电连接。本实用新型实现当铜管中水流量减小时,立即有冷水补入,达到零时间自动切换,即使在停电时仍可保证系统安全。
搜索关键词: 一种 坩埚 应急 冷却系统
【主权项】:
一种冷坩埚的应急冷却系统,包括冷坩埚、换热器、循环水泵和低位循环水箱,所述冷坩埚、换热器、循环水泵和低位循环水箱依次通过管路连接,构成一主循环系统回路,其特征在于:还包括高位水箱,所述高位水箱通过补水电磁阀与冷坩埚的进水口连接,所述冷坩埚的出水口连接排水管;在主循环系统管路上设有电节点压力表,所述电节点压力表与蓄电池电连接,所述蓄电池与补水电磁阀电连接。
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