[实用新型]制备电子级二氯二氢硅的装置有效
申请号: | 201721252939.2 | 申请日: | 2017-09-22 |
公开(公告)号: | CN208008469U | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 万烨;刘见华;赵雄;赵宇;郭树虎;常欣;辛超;姜利霞;严大洲;吕东 | 申请(专利权)人: | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 韩建伟;金田蕴 |
地址: | 471023 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种制备电子级二氯二氢硅的装置,该装置包括:反应精馏塔,装填有催化三氯氢硅进行歧化反应的歧化催化剂;提纯塔,用于将反应精馏塔中的反应产物先脱除轻组分再脱除重组分得到提纯产品;以及吸附提纯单元,用于将提纯产品进一步去除杂质,得到电子级二氯二氢硅。应用本实用新型的技术方案,反应精馏塔中三氯氢硅在歧化催化剂的催化下生成二氯二氢硅,之后反应精馏塔塔顶产品进入提纯塔分别脱除轻组分和重组分,同时,为了降低反应系统波动,进一步保证产品质量,在提纯塔后设置吸附提纯单元,进一步去除杂质,得到电子级二氯二氢硅,工艺步骤简单且得到的电子级二氯二氢硅纯度高。 | ||
搜索关键词: | 二氯二氢硅 电子级 反应精馏塔 提纯塔 脱除 本实用新型 歧化催化剂 三氯氢硅 提纯单元 提纯 去除 吸附 催化 制备 反应精馏塔塔顶 反应系统 工艺步骤 歧化反应 装填 应用 保证 | ||
【主权项】:
1.一种制备电子级二氯二氢硅的装置,其特征在于,包括:反应精馏塔,装填有催化三氯氢硅进行歧化反应的歧化催化剂;提纯塔,用于将所述反应精馏塔中的反应产物脱除轻组分和重组分得到提纯产品;以及吸附提纯单元,用于将所述提纯产品进一步去除杂质,得到电子级二氯二氢硅;所述反应精馏塔从下往上依次为提馏段、反应段和精馏段,塔顶设置有全凝器,塔底设置有再沸器;所述吸附提纯单元包括一台或多台的吸附柱,所述吸附柱内壁设有聚四氟乙烯内衬。
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