[实用新型]基板清洁机有效
| 申请号： | 201721242560.3 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN207560486U | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 陈尔军 | 申请（专利权）人： | 日精仪器武汉有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/22 | 分类号： | H05K3/22 |
| 代理公司： | 武汉国越知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42232 | 代理人： | 李伟涛 |
| 地址： | 430058 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基板清洁机，包括传送系统、除尘除静电系统、粉尘回收系统和控制系统，传送系统包括轨道和防静电压轮，防静电压轮设置在轨道上，除尘除静电系统通过安装块固定在轨道上方，包括离子风刀、离子发生器和电磁阀，每两组离子风刀共用一台离子发生器，每组离子风刀配置一个电磁阀，轨道下方对应离子风刀处设有粉尘回收系统。本实用新型的基板清洁机利用离子风刀清除基板表面的粉尘，利用离子发生器消除基板静电，除尘除静电效果好，且不会损伤基板，也不会造成环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 离子风刀 基板清洁机 离子发生器 除尘 粉尘回收系统 本实用新型 除静电系统 传送系统 轨道 电磁阀 防静电 基板 压轮 基板表面 控制系统 静电 安装块 除静电 两组 粉尘 损伤 配置 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洁机，其特征在于，包括传送系统、除尘除静电系统、粉尘回收系统和控制系统，所述传送系统包括轨道和防静电压轮，所述防静电压轮设置在所述轨道上，所述除尘除静电系统通过安装块固定在所述轨道上方，包括离子风刀、离子发生器和电磁阀，每两组所述离子风刀共用一台所述离子发生器，每组所述离子风刀配置一个所述电磁阀，所述轨道下方对应所述离子风刀处设有所述粉尘回收系统。
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