[实用新型]一种磷化铟合成装置的复合热屏蔽结构有效
申请号: | 201721173942.5 | 申请日: | 2017-09-13 |
公开(公告)号: | CN207943874U | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 范家骅;乔印彬;邱才涌;卢宁 | 申请(专利权)人: | 南京金美镓业有限公司 |
主分类号: | C01B25/08 | 分类号: | C01B25/08;B01J3/04;B01J8/06 |
代理公司: | 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 32270 | 代理人: | 杜依民 |
地址: | 211165 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种磷化铟合成装置的复合热屏蔽结构,管式电炉安装于高压炉筒中,真空密封的石英反应管安装于管式电炉的炉腔中,在管式电炉两端与高压炉筒之间填塞隔热材料,管式电炉的多段独立温控的炉芯之间设有绝热阻隔区,管式电炉的炉腔两端填塞隔热材料,石英反应管内设有多重防热辐射屏。解决了石英反应管内高温端对低温端的干扰,使红磷产生的磷蒸汽和压力得到稳定控制,保证了磷化铟顺利合成。 | ||
搜索关键词: | 管式电炉 石英反应管 磷化铟 隔热材料 合成装置 屏蔽结构 复合热 高压炉 炉腔 填塞 本实用新型 防热辐射屏 绝热 独立温控 稳定控制 真空密封 高温端 磷蒸汽 多段 红磷 炉芯 阻隔 合成 保证 | ||
【主权项】:
1.一种磷化铟合成装置的复合热屏蔽结构,管式电炉安装于高压炉筒中,真空密封的石英反应管安装于管式电炉的炉腔中,管式电炉具有多段独立温控的炉芯,其特征在于,在管式电炉两端与高压炉筒之间填塞隔热材料,管式电炉的多段独立温控的炉芯之间设有绝热阻隔区,管式电炉的炉腔两端填塞隔热材料,石英反应管内设有多重防热辐射屏。
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