[实用新型]一种硅片自动揭膜机有效
| 申请号： | 201721166450.3 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN207389773U | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 武鹏;王彦君;孙晨光;徐长坡;刘闯;王万礼;张晋英;李子科;杜宏强;王志明;赵杨;杜晓辉;张新玲;刘丽媛;董子旭;刘文彬;乔智;印小松;刘晓芳;张建;张喆;徐阳 | 申请（专利权）人： | 天津环鑫科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B65B69/00 | 分类号： | B65B69/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市西青区*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片自动揭膜机，包括机台，机台上设有机械手、UV照射机构、载台和揭膜机构，揭膜机构设于载台的上方,揭膜机构包括胶带输送机构和胶带压合机构，胶带输送机构上绕有胶带，胶带压合机构设于载台上方的胶带的上侧，UV照射机构包括UV灯和灯罩，UV灯设于灯罩内，灯罩的底部可打开。该揭膜机自动化程度高，照射机构结构合理，对硅片照射完全、无死角，处理效果好，揭膜困难性低，照射机构热量可及时从照射机构中引出，设备损坏率低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 自动 揭膜机 | ||
【主权项】：
1.一种硅片自动揭膜机，包括机台，其特征在于：所述机台上设有机械手、UV照射机构、载台和揭膜机构，所述揭膜机构设于所述载台的上方,所述揭膜机构包括胶带输送机构和胶带压合机构，所述胶带输送机构上绕有胶带，所述胶带压合机构设于所述载台上方的所述胶带的上侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津环鑫科技发展有限公司，未经天津环鑫科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721166450.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种指纹模组输送装置
- 下一篇：一种立式留声机
