[实用新型]下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置及等离子设备有效
| 申请号： | 201721149762.3 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN207338299U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 杨雄;姜宏伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置及等离子设备。该连接装置包括：电极铜柱，其一端设有用于容纳静电卡盘电极探针的第一盲孔，所述电极铜柱的另一端设有用于容纳下电极滤波盒插头的第二盲孔；电极探针套，其设置在所述电极铜柱和静电卡盘电极探针的外部，用于将所述静电卡盘电极探针定位在所述第一盲孔中，以使所述静电卡盘电极探针与所述电极铜柱电接触；以及下电极滤波盒插头，其固定在所述下电极滤波盒上，所述下电极滤波盒插头的一端与所述第二盲孔之间接触，从而使所述下电极滤波盒插头与所述电极铜柱电接触。本实用新型保证了各个腔室下电极滤波盒出线端安装的一致性，有利于提高腔室匹配性。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 滤波 静电 卡盘 连接 装置 等离子 设备 | ||
【主权项】：
1.一种下电极滤波盒与静电卡盘的连接装置，其特征在于，包括：电极铜柱，其一端设有用于容纳静电卡盘电极探针的第一盲孔，所述电极铜柱的另一端设有用于容纳下电极滤波盒插头的第二盲孔；电极探针套，其设置在所述电极铜柱和静电卡盘电极探针的外部，用于将所述静电卡盘电极探针定位在所述第一盲孔中，以使所述静电卡盘电极探针与所述电极铜柱电接触；以及下电极滤波盒插头，其固定在所述下电极滤波盒上，所述下电极滤波盒插头的一端与所述第二盲孔之间接触，从而使所述下电极滤波盒插头与所述电极铜柱电接触。
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