[实用新型]一种用于晶圆分选机上的产品承载装置

摘要

本实用新型提供一种用于晶圆分选机上的产品承载装置，包括上下设置的底板和薄膜，且所述薄膜的上表面具有粘性并与所述底板的下表面粘贴固定，所述薄膜水平设置于分选机的真空吸附平台上且用于承载同一电性的晶圆，在所述底板上开设有用于容置晶圆产品的限位孔并使得摆放在限位孔内的晶圆固定粘附在所述薄膜上，在所述底板上的非限位孔区域还设置有至少一个用于将所述薄膜从上往下顶起的插入孔，进而实现所述薄膜与底板间的快速分离，所述插入孔的数量为两个且对称设置于所述底板的边缘处。所述产品承载装置结构简单、使用方便，操作人员仅需手指轻轻一压就能将部分薄膜与底板分开，进而实现对整片薄膜的快速分离，有利于提高生产效率。

主权项

一种用于晶圆分选机上的产品承载装置，其特征在于，包括上下设置的底板(1)和薄膜(2)，且所述薄膜(2)的上表面具有粘性并与所述底板(1)的下表面粘贴固定，所述薄膜(2)水平设置于分选机的真空吸附平台上且用于承载同一电性的晶圆，在所述底板(1)上开设有用于容置晶圆产品的限位孔(3)并使得摆放在限位孔内的晶圆固定粘附在所述薄膜(2)上，在所述底板(1)上的非限位孔区域还设置有至少一个用于将所述薄膜(2)从上往下顶起的插入孔(4)，进而实现所述薄膜(2)与底板(1)间的快速分离。