[实用新型]基于莫尔条纹检测的离心式三轴角速率传感器

摘要

一种基于莫尔条纹检测的离心式三轴角速率传感器，主要结构包括上基板、定光栅层、敏感机构、下基板，上基板设置有四个光电探测阵列，敏感机构包括支撑框体、检测梁、连接梁、质量块、动光栅，定光栅层设置有四个定光栅，下基板设置有四个激光光源，质量块上设置动光栅，此装置结构无需驱动电路，采用离心力驱动质量块产生微位移，采用光学莫尔条纹检测微位移，结构合理紧凑，检测方便，检测精度高，灵敏度高，分辨率高，无正交误差、偏移输出等问题，测量精度较现有技术可提高一个数量级别，检测数据翔实、准确，可靠性好。

主权项

基于莫尔条纹检测的离心式三轴角速率传感器，其特征在于，所述离心式三轴角速率传感器包括：上基板、动光栅层、定光栅层及下基板，所述上基板、动光栅层、定光栅层及下基板依次叠层布置；所述离心式三轴角速率传感器还包括莫尔条纹检测单元，所述莫尔条纹检测单元包括：光电探测器、动光栅、定光栅、及激光光源，所述光电探测器、动光栅、定光栅及激光光源分别设置在所述上基板、动光栅层、定光栅层及下基板上，同一个莫尔条纹检测单元内，所述光电探测器、动光栅、定光栅、及激光光源置于同一竖直线上；所述动光栅布置在质量块上，所述质量块通过检测机构连接在动光栅层上；所述动光栅的光栅布置方向与所述定光栅布置方向在同一水平面上存在角度。