[实用新型]一种硅片线切割线筒室

摘要

本实用新型公开了一种硅片线切割线筒室，包括主板、收放线轮驱动单元、分别设于收放线轮下方的两个导线轮工装、与导线轮工装相连的导线轮工装移动座、两个横移架、两个张力臂电机、与张力臂电机相连的张力臂、设于所述张力臂下端的张力臂导向轮，所述横移架水平设置，所述横移架下部设有水平导线轮工装移动座滑轨，所述导线轮工装移动座可沿所述滑轨横向移动。本实用新型优化导向轮排布结构，线筒安装方式为卧式安装，线筒重量大幅减小，排线行程显著降低，线筒跳动小，排线更加稳定。改变电机、横移架排布位置，提升切割效率，适应专用金刚线切割。

主权项

一种硅片线切割线筒室，其特征在于，包括主板、收放线轮驱动单元、分别设于收放线轮下方的两个导线轮工装、与导线轮工装相连的导线轮工装移动座、两个横移架、两个张力臂电机、与张力臂电机相连的张力臂、设于所述张力臂下端的张力臂导向轮，所述横移架水平设置，所述横移架下部设有水平导线轮工装移动座滑轨，所述导线轮工装移动座可沿所述滑轨横向移动；所述导线轮工装包括配重块、连接座、固定支架、导向轮支撑座、收放线导向轮、传感器、连接轴，所述固定支架用于导线轮工装固定于导线轮工装移动座，与固定支架相连设有连接座，所述连接座的另一侧设有配重块，与连接座相连接固定支架下面设有导向轮支撑座，与导向轮支撑座相连接安装有收放线导向轮，所述传感器位于导向轮支撑座与收放线导向轮相对，所述收放线导向轮与传感器之间通过连接轴相连；所述张力臂电机位于线筒室主板后方，两个所述张力臂导向轮分别位于两个收放线导向轮右侧，所述张力臂上设有张力臂传感器，所述张力臂上部外面设有张力臂盒；依次缠绕收放线轮、收放线导向轮、张力臂导向轮设有切割线。