[实用新型]一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构有效
| 申请号： | 201720988894.9 | 申请日： | 2017-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN207468717U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 姚华光 | 申请（专利权）人： | 安徽普威达真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 童强 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了磁控溅射镀膜设备技术领域的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构，包括保护外壳，所述保护外壳的左右侧壁均开设有安装卡槽，所述安装卡槽的内腔隼接有安装定位板，所述保护外壳的外壁设置有温控开关，本实用新型通过温度传感器和温控开关的相互配合，使电阻电热丝的加热温度能够被控制在一定的范围内，提高加热机构的加热精度，保证良好的修复品质，通过加热平台的设置，使加热的温度更加的均匀，保证良好的加热效果，同时减少热量传导的损失，减少能源的浪费，通过保护外壳两侧的安装卡槽和安装定位板的隼接作用，方便对加热机构的安装和拆卸，有利于后期的维护。 | ||
| 搜索关键词： | 加热机构 安装卡槽 加热 磁控溅射装置 安装定位板 本实用新型 镀层缺陷 温控开关 修复零件 隼接 磁控溅射镀膜设备 电阻电热丝 温度传感器 加热平台 加热效果 热量传导 外壁设置 外壳两侧 左右侧壁 内腔 拆卸 保证 修复 能源 配合 维护 | ||
【主权项】：
一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构，包括保护外壳(1)，其特征在于：所述保护外壳(1)的左右侧壁均开设有安装卡槽(2)，所述安装卡槽(2)的内腔隼接有安装定位板(3)，所述保护外壳(1)的外壁设置有温控开关(4)，所述保护外壳(1)内腔的底部设置有绝缘隔热板(5)，所述绝缘隔热板(5)的顶部均匀设置有电阻加热丝(6)，所述电阻加热丝(6)的顶部设置有绝缘导热板(7)，所述绝缘导热板(7)的顶部设置有加热平台(8)，且加热平台(8)的顶部高于保护外壳(1)的顶部，所述加热平台(8)的内腔均匀镶嵌有温度传感器(9)，所述电阻加热丝(6)和温度传感器(9)均通过温控开关(4)与外部电源电性连接。
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