[实用新型]一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构有效
| 申请号： | 201720988894.9 | 申请日： | 2017-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN207468717U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 姚华光 | 申请（专利权）人： | 安徽普威达真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 童强 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热机构 安装卡槽 加热 磁控溅射装置 安装定位板 本实用新型 镀层缺陷 温控开关 修复零件 隼接 磁控溅射镀膜设备 电阻电热丝 温度传感器 加热平台 加热效果 热量传导 外壁设置 外壳两侧 左右侧壁 内腔 拆卸 保证 修复 能源 配合 维护 | ||
1.一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构，包括保护外壳(1)，其特征在于：所述保护外壳(1)的左右侧壁均开设有安装卡槽(2)，所述安装卡槽(2)的内腔隼接有安装定位板(3)，所述保护外壳(1)的外壁设置有温控开关(4)，所述保护外壳(1)内腔的底部设置有绝缘隔热板(5)，所述绝缘隔热板(5)的顶部均匀设置有电阻加热丝(6)，所述电阻加热丝(6)的顶部设置有绝缘导热板(7)，所述绝缘导热板(7)的顶部设置有加热平台(8)，且加热平台(8)的顶部高于保护外壳(1)的顶部，所述加热平台(8)的内腔均匀镶嵌有温度传感器(9)，所述电阻加热丝(6)和温度传感器(9)均通过温控开关(4)与外部电源电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构，其特征在于：所述安装定位板(3)的左右两侧均开设有隼接卡槽(31)，所述安装定位板(3)的顶部均匀开设有定位螺孔(32)。
3.根据权利要求1所述的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构，其特征在于：所述加热平台(8)的左右侧壁均开设有定位卡槽(81)，所述加热平台(8)的前后侧壁均设置有带孔的固定板(82)。
4.根据权利要求1所述的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构，其特征在于：所述绝缘隔热板(5)为陶瓷绝缘隔热板，所述绝缘导热板(7)为云母片绝缘导热板。
5.根据权利要求1所述的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构，其特征在于：所述加热平台(8)为带槽纯铜加热板。
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