[实用新型]一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构

说明书

本实用新型公开了磁控溅射镀膜设备技术领域的一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构，包括保护外壳，所述保护外壳的左右侧壁均开设有安装卡槽，所述安装卡槽的内腔隼接有安装定位板，所述保护外壳的外壁设置有温控开关，本实用新型通过温度传感器和温控开关的相互配合，使电阻电热丝的加热温度能够被控制在一定的范围内，提高加热机构的加热精度，保证良好的修复品质，通过加热平台的设置，使加热的温度更加的均匀，保证良好的加热效果，同时减少热量传导的损失，减少能源的浪费，通过保护外壳两侧的安装卡槽和安装定位板的隼接作用，方便对加热机构的安装和拆卸，有利于后期的维护。

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，具体为一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构。

背景技术

磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率，磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。

例如中国专利申请号为CN201420201810.9一种用于修复零件表面金属镀层缺陷的磁控溅射装置，具体内容为：一种用于修复零件表面金属镀层缺陷的磁控溅射装置，由下真空室以及与下真空室密封对接的上真空室构成真空腔，在真空腔内架设有样品台，所述样品台通过绝缘支撑连接于下真空室内壁，在样品台下方或内部设置有加热元件，并设置与所述加热元件连接的温度测控装置，所述样品台上还设有用于控制溅射束流的栅孔，所述下真空室的侧部开设有孔并在孔上安装有法兰，下真空室的内腔底部设有磁控溅射源，该装置可以用来对零部件在镀制过程、运输过程以及使用过程中形成的缺陷和损伤进行磁控溅射修复，可以非常经济且有效地实现对超长、超大零件的修复，由于修复过程是在真空条件下完成的，所以可以完全避免传统修复过程的环境污染问题，虽然该装置可以用来对零部件在镀制过程、运输过程以及使用过程中形成的缺陷和损伤进行磁控溅射修复，可以非常经济且有效地实现对超长、超大零件的修复，但是该装置没有对其加热装置的具体说明，无法确定其工作温度精度，降低其修复零件的品质。基于此，本实用新型设计了一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构，以解决上述背景技术中提出的虽然该装置可以用来对零部件在镀制过程、运输过程以及使用过程中形成的缺陷和损伤进行磁控溅射修复，可以非常经济且有效地实现对超长、超大零件的修复，但是该装置没有对其加热装置的具体说明，无法确定其工作温度精度，降低其修复零件的品质的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于修复零件镀层缺陷磁控溅射装置的加热机构，包括保护外壳，所述保护外壳的左右侧壁均开设有安装卡槽，所述安装卡槽的内腔隼接有安装定位板，所述保护外壳的外壁设置有温控开关，所述保护外壳内腔的底部设置有绝缘隔热板，所述绝缘隔热板的顶部均匀设置有电阻加热丝，所述电阻加热丝的顶部设置有绝缘导热板，所述绝缘导热板的顶部设置有加热平台，且加热平台的顶部高于保护外壳的顶部，所述加热平台的内腔均匀镶嵌有温度传感器，所述电阻加热丝和温度传感器均通过温控开关与外部电源电性连接。

优选的，所述安装定位板的左右两侧均开设有隼接卡槽，所述安装定位板的顶部均匀开设有定位螺孔。

优选的，所述加热平台的左右侧壁均开设有定位卡槽，所述加热平台的前后侧壁均设置有带孔的固定板。

优选的，所述绝缘隔热板为陶瓷绝缘隔热板，所述绝缘导热板为云母片绝缘导热板。

优选的，所述加热平台为带槽纯铜加热板。