[实用新型]一种立式炉管有效
| 申请号： | 201720975466.2 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN207163222U | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 耿耀庭 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种立式炉管，包括顶端带出口的炉管体、设置于炉管体侧面底部的喷嘴管路的进口和设置于炉管内部中间位置的晶舟；所述炉管体上部径向小于炉管体下部径向；所述喷嘴管路顶端设喷嘴并从侧面底部水平延伸后垂直向上；所述喷嘴管路沿水平延伸面设夹具；所述夹具使喷嘴管路与炉管体上部间保持一定的水平间距。本实用新型能解决喷嘴管路与炉管内壁贴合过紧的情况，防止喷嘴管路的断裂。使生产膜时不再产生膜厚异常。夹具将喷嘴管路固定，减少喷嘴管路的折断风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 炉管 | ||
【主权项】：
一种立式炉管，其特征在于：包括顶端带出口(11)的炉管体(1)、设置于所述炉管体(1)侧面底部的喷嘴管路(2)的进口(12)、设置于炉管体(1)内部中间位置的晶舟(3)和夹具(4)；所述炉管体上部(13)内径小于炉管体下部(14)内径；所述喷嘴管路(2)顶端设喷嘴并从所述炉管体(1)的侧面底部水平延伸后垂直向上；所述夹具(4)的下表面紧贴喷嘴管路(2)水平延伸部分，所述夹具(4)外侧面与所述炉管体(1)内侧面相接，所述夹具(4)内侧面与所述喷嘴管路(2)的垂直管路贴合；所述夹具(4)使喷嘴管路(2)与炉管体上部(13)间保持一定的水平间距。
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