[实用新型]一种立式炉管

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种反应装置，尤其涉及一种立式炉管。

背景技术

立式炉管是半导体工业常用的仪器设备，现有的立式炉管的喷嘴管路贴炉管壁安装，在生产制作中容易造成膜厚异常。在使用立式炉管时，底端膜厚经常无端变厚，在确认排除工艺流程、检测器、膜厚量测机台的影响后，发现炉管内的喷嘴管路断裂：破碎的喷嘴管路掉落在炉管内，喷嘴管路变短导致沉积时SiH₄大量集中在炉管底端，造成底端的膜厚异常。研究喷嘴管路断裂位置，对比其他喷嘴管路发现几乎在相同高度的位置，都有一个小缺口，证明该位置有明显受力。炉管的口径下宽上窄，口径变化处的高度与喷嘴管路断裂位置匹配。可以推断出安装两根长喷嘴管路时贴炉管内壁太紧，随着累计膜厚的增加，该位置受的应力也会不断增加，由于炉管气体干洗时是放热反应，温度的急剧变化导致喷嘴管路受到的应力变大而造成断裂。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种能防止喷嘴管路断裂，防止膜厚变化的立式炉管。

本实用新型为解决上述技术问题采用以下技术方案：

一种立式炉管，包括顶端带出口的炉管体、设置于所述炉管体侧面底部的喷嘴管路的进口、设置于炉管体内部中间位置的晶舟和夹具；所述炉管体上部内径小于炉管体下部内径；所述喷嘴管路顶端设喷嘴并从所述炉管体的侧面底部水平延伸后垂直向上；所述夹具的下表面紧贴喷嘴管路水平延伸部分，所述夹具外侧面与所述炉管体内侧面相接，所述夹具内侧面与所述喷嘴管路的垂直管路贴合；所述夹具使喷嘴管路与炉管体上部间保持一定的水平间距。

为了进一步优化上述技术方案，本实用新型所采取的技术措施为：

优选的，所述喷嘴管路为至少一个。

优选的，所述喷嘴管路的高度可设置为与所述晶舟的顶端、中部和底端相对应的高度。

优选的，所述夹具从炉管体侧壁延伸至与喷嘴管路相接。

优选的，所述夹具与所述炉管体一体成型。

优选的，所述夹具与喷嘴管路相接处设喷嘴管路卡口。

优选的，所述夹具宽度为16mm。

优选的，所述夹具为与炉管体适配的圆弧条状。

优选的，所述炉管体顶端的出口由竖直弯折为水平向。

优选的，所述喷嘴管路与炉管体上部的水平间距为1-2mm。

本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

本实用新型能解决喷嘴管路与炉管内壁贴合过紧的情况，防止喷嘴管路的断裂。使生产膜时不再产生膜厚异常。夹具将喷嘴管路固定，减少喷嘴管路的折断风险。

附图说明

图1为本实用新型的一种优选实施例的立式炉管的结构示意图；

图2为本实用新型的一种优选实施例的立式炉管的透视图；

图3为本实用新型的一种优选实施例的立式炉管的剖面图；

图4为本实用新型的一种优选实施例的夹具的结构示意图；

其中的附图标记为：

1炉管体；2喷嘴管路；3晶舟；4夹具；11出口；12进口；13炉管体上部；14炉管体下部；41喷嘴管路卡口。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的详细说明。

图1为本实用新型的一种优选实施例的立式炉管的结构示意图；图2为本实用新型的一种优选实施例的立式炉管的透视图；图3为本实用新型的一种优选实施例的立式炉管的剖面图；图4为本实用新型的一种优选实施例的夹具的结构示意图。

参见图1-图4，本实用新型的一种优选实施例的立式炉管，包括顶端带出口11的炉管体1、设置于所述炉管体1侧面底部的喷嘴管路2的进口12、设置于炉管体1内部中间位置的晶舟3和夹具4；所述炉管体上部13内径小于炉管体下部14内径；所述喷嘴管路2顶端设喷嘴并从所述炉管体1的侧面底部水平延伸后垂直向上；所述夹具4的下表面紧贴喷嘴管路2水平延伸部分，所述夹具4外侧面与所述炉管体1内侧面相接，所述夹具4内侧面与所述喷嘴管路2的垂直管路贴合；所述夹具4使喷嘴管路2与炉管体上部13间保持一定的水平间距。

进一步的，在一种较佳的实施例中，所述喷嘴管路2为至少一个。

进一步的，在一种较佳的实施例中，所述喷嘴管路2的高度可设置为与所述晶舟的顶端、中部和底端相对应的高度。

进一步的，在一种较佳的实施例中，所述夹具4从炉管体1侧壁延伸至与喷嘴管路2相接。

进一步的，在一种较佳的实施例中，所述夹具4与所述炉管体1一体成型。