[实用新型]一种超声波修整盘及化学机械研磨机有效
| 申请号： | 201720948244.1 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN207127727U | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 李虎;张守龙;赵正元 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B53/12;B24B37/04;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种超声波修整盘及化学机械研磨机，属于半导体制造技术领域，适用于化学机械研磨机上，所述化学机械研磨机内设置有研磨垫，所述超声波修整盘包括研磨臂，可移动地设置于所述研磨垫的上方；修整盘本体，设置于所述研磨臂的一端并与所述研磨垫接触；超声波发生装置，设置于所述研磨臂连接所述修整盘的一端。上述技术方案的有益效果是在传统的修整盘的基础上集成了一个超声发生器，在修整过程中，修整盘上的超声传导到研磨垫的表面时，就可以更高效的将切削产生的碎屑、研磨液中的磨粒及研磨副产物从研磨垫的多孔表面清除，达到缩短修整时间和降低修整压力的目的，使修整盘的实际使用寿命得以延长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 修整 化学 机械 研磨机 | ||
【主权项】：
一种超声波修整盘，适用于化学机械研磨机上，所述化学机械研磨机内设置有研磨垫，其特征在于，所述超声波修整盘包括：研磨臂，可移动地设置于所述研磨垫的上方；修整盘本体，设置于所述研磨臂的一端并与所述研磨垫接触；超声波发生装置，设置于所述研磨臂连接所述修整盘的一端。
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