[实用新型]曝光机的光学装置有效
申请号: | 201720929820.8 | 申请日: | 2017-07-28 |
公开(公告)号: | CN207516722U | 公开(公告)日: | 2018-06-19 |
发明(设计)人: | 李致齐 | 申请(专利权)人: | 科毅科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 黄挺 |
地址: | 中国台湾桃园市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型提供一种曝光机的光学装置,其包含一发光二极管灯板、一复眼透镜组及一转向反射镜;发光二极管灯板用以朝向一水平方向投射一光束;复眼透镜组配置在发光二极管灯板的投射路径上且与发光二极管灯板层叠排列;转向反射镜配置在发光二极管灯板的投射路径上且复眼透镜组配置在发光二极管灯板与转向反射镜之间,转向反射镜用以将发光二极管灯板投射的光束反射而向下转向一垂直方向;由此将发光二极管灯板所投射的水平光束转向为垂直投射且调整为平行光。 | ||
搜索关键词: | 发光二极管灯板 转向反射镜 复眼透镜组 投射 光学装置 投射路径 曝光机 配置 本实用新型 层叠排列 垂直投射 光束反射 水平光束 平行光 | ||
【主权项】:
1.一种曝光机的光学装置,其特征在于,包含:一发光二极管灯板,用以朝向一水平方向投射一光束;一复眼透镜组,配置在所述发光二极管灯板的投射路径上且与所述发光二极管灯板层叠排列;及一转向反射镜,配置在所述发光二极管灯板的投射路径上且所述复眼透镜组配置在所述发光二极管灯板与所述转向反射镜之间,所述转向反射镜用以将所述发光二极管灯板投射的所述光束反射而向下转向一垂直方向。
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