[实用新型]一种横置式石英舟

摘要

本实用新型涉及一种横置式石英舟，包括底板、立柱，底板左侧两个立柱中部之间连接有左中梁，底板左侧两个立柱顶部之间连接有左顶梁，底板右侧两个立柱中部之间连接有右中梁，底板右侧两个立柱顶部之间连接有右顶梁，底板左侧立柱右侧设有左卡槽，左中梁设有左限位板，底板右侧立柱左侧设有右卡槽，右中梁设有右限位板，底板前侧中部设有缺口，左顶梁和右顶梁之间连接有提手，左卡槽与与其相对的右卡槽连线与水平面的夹角为3°。本实用新型通过呈3°夹角的左卡槽和右卡槽，在插入硅片后使得硅片向一边偏移进而使得硅片边缘扩散整齐，同时左卡槽内和右卡槽内均磨砂处理增加硅片与一侧卡槽的摩擦力，防止硅片滑出，缺口便于拿放底层的硅片。

主权项

一种横置式石英舟，其特征在于，包括底板、竖直设置于所述底板顶面四个角的立柱，所述底板左侧两个立柱中部之间连接有左中梁，所述底板左侧两个立柱顶部之间连接有左顶梁，所述底板右侧两个立柱中部之间连接有右中梁，所述底板右侧两个立柱顶部之间连接有右顶梁，所述底板左侧的立柱右侧设有开口向右的左卡槽，所述左中梁设有向左延伸的左限位板，所述底板右侧的立柱左侧设有开口向左的右卡槽，所述右中梁设有向右延伸的右限位板，所述底板前侧中部设有缺口，所述左顶梁和所述右顶梁之间连接有提手，所述左卡槽与与其相对的右卡槽连线与水平面的夹角为3°，即硅片插入后与水平面呈3°夹角，所述左卡槽内和所述右卡槽内均磨砂处理。