[实用新型]大面积电镀制源装置有效
申请号: | 201720854562.1 | 申请日: | 2017-07-14 |
公开(公告)号: | CN206916239U | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 侯嵩;徐建;郭昌胜;党云博;吕佳佩;万利;张远 | 申请(专利权)人: | 中国环境科学研究院 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;C25D17/12;C25D7/00 |
代理公司: | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司11467 | 代理人: | 刘小静 |
地址: | 100012 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及电镀设备领域,尤其是大面积电镀制源装置,该电镀制源装置包括阳极板、阳极丝、阴极板、电镀槽、电镀槽底衬和半导体制冷片,阳极板端面上划设有两个以上大小相同的隔区,每个隔区中心位置都设有一单路阳极丝,阳极板置于电镀槽的开口处,电镀槽的底板上端面设有电镀槽底衬,电镀槽的下端面设有阴极板,阴极板与半导体制冷片固定连接。本实用新型提供了一种大面积电镀制源装置,通过阳极点阵法来进行大面积电镀制源。 | ||
搜索关键词: | 大面积 电镀 装置 | ||
【主权项】:
一种大面积电镀制源装置,其特征是,包括阳极板(1)、阳极丝(2)、阴极板(3)、电镀槽(4)、电镀槽底衬(5)和半导体制冷片(6),阳极板(1)端面上划设有两个以上大小相同的隔区,每个隔区中心位置都设有一单路阳极丝(2),阳极板(1)置于电镀槽(4)的开口处,电镀槽(4)的底板上端面设有电镀槽底衬(5),电镀槽(4)的下端面设有阴极板(3),阴极板(3)与半导体制冷片(6)固定连接。
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