[实用新型]硅棒直径检测装置及48对棒还原炉

摘要

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，解决现有技术中的炉内硅棒直径增长采用人工估计存在偏差，对沉积效率的优化带来困难的问题，提供一种硅棒直径检测装置及48对棒还原炉。本实用新型提供的硅棒直径检测结构，距离传感器用于检测距离传感器与多晶硅棒外周面的距离，控制装置根据距离传感器获取的距离多晶硅外周面的多次距离，计算出多晶硅的直径，并将该数据传递给显示装置，显示装置实时显示还原炉内硅棒直径的变化情况，便于用户准确控制原料气以及电流加入量，优化沉积效率。由于48对棒还原炉包括上述的硅棒直径检测结构，因此也具有准确控制原料气以及电流加入量，进而使物料、电流匹配达到最佳效果，优化沉积效率的有益效果。

主权项

一种硅棒直径检测结构，其特征在于，包括：多晶硅棒；正对所述多晶硅棒外周面的距离传感器，用于检测所述距离传感器与多晶硅棒外周面之间的距离；与所述距离传感器电连接的控制装置；与所述控制装置电连接的显示装置。