[实用新型]硅棒直径检测装置及48对棒还原炉

权利要求书

1.一种硅棒直径检测结构，其特征在于，包括：

多晶硅棒；

正对所述多晶硅棒外周面的距离传感器，用于检测所述距离传感器与多晶硅棒外周面之间的距离；

与所述距离传感器电连接的控制装置；

与所述控制装置电连接的显示装置。

2.根据权利要求1所述的硅棒直径检测结构，其特征在于：

所述硅棒直径检测结构包括至少三个距离传感器，至少三个所述距离传感器与所述多晶硅棒轴线的距离相等。

3.根据权利要求2所述的硅棒直径检测结构，其特征在于：

至少三个所述距离传感器位于同一圆形轨迹上，所述圆形轨迹与所述多晶硅棒同心。

4.根据权利要求1所述的硅棒直径检测结构，其特征在于：

所述显示装置为触摸式显示屏。

5.一种48对棒还原炉，其特征在于：

所述48对棒还原炉包括炉本体以及权利要求1至4任意一项所述的硅棒直径检测结构；所述炉本体具备有容纳腔；贯穿所述炉本体的侧壁设置有视镜；所述多晶硅棒设置在所述容纳腔内；所述距离传感器设置在所述视镜靠近所述容纳腔的一端。

6.根据权利要求5所述的48对棒还原炉，其特征在于：

所述容纳腔内设置有多个所述多晶硅棒；所述距离传感器正对与其距离最短的所述多晶硅棒的外周面。

7.根据权利要求5所述的48对棒还原炉，其特征在于：

所述视镜靠近容纳腔一侧采用耐高温玻璃制成。

8.根据权利要求7所述的48对棒还原炉，其特征在于：

所述视镜包括与所述炉本体连接的镜筒，以及设置在所述镜筒内的透光部。

9.根据权利要求7所述的48对棒还原炉，其特征在于：

所述容纳腔的内侧壁靠近所述视镜处可滑动地设置有擦拭装置。

10.根据权利要求9所述的48对棒还原炉，其特征在于：

所述擦拭装置包括擦拭部以及与所述擦拭部连接的滑动轴；所述擦拭部设置在所述炉本体内侧且与所述视镜可滑动地连接，使所述擦拭部擦拭视镜内表面；所述滑动轴贯穿所述炉本体的侧壁并伸出至所述容纳腔外。