[实用新型]一种基于共面波导的RF‑MEMS可调滤波器有效
| 申请号： | 201720824448.4 | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN207010635U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 陈磊;王欢 | 申请（专利权）人： | 池州睿成微电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/46 | 分类号： | H03H9/46 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司31300 | 代理人： | 董泽宇 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于共面波导的RF‑MEMS可调滤波器，包含带通滤波器、RF‑MEMS开关，所述带通滤波器由两端K倒相器及其中间的CPW传输线构成，所述RF‑MEMS开关包含上极板、下级板和锚区，上极板呈凸起的横梁状，下级板是共面波导传输线的一部分，所述两个锚区分别串接有一个固定的接地电容Ci，所述RF‑MEMS开关所含的电容Cs模拟可调，所述RE‑MEMS开关与带通滤波器串联。本实用新型的可调滤波器具有应用范围广、体积小的特点，易与其他微波组件集成，更满足通讯系统小型化、高集成化的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 波导 rf mems 可调 滤波器 | ||
【主权项】：
一种基于共面波导的RF‑MEMS可调滤波器，其特征在于，包含带通滤波器、RF‑MEMS开关，所述带通滤波器由两端K倒相器及其中间的CPW传输线构成，所述RF‑MEMS开关包含上极板、下级板和锚区，上极板呈凸起的横梁状，下级板是共面波导传输线的一部分，所述两个锚区分别串接有一个固定的接地电容Ci，所述RF‑MEMS开关所含的电容Cs模拟可调，所述RE‑MEMS开关与带通滤波器串联。
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