[实用新型]一种碳化硅加工用晶棒研磨装置有效
| 申请号： | 201720790312.6 | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN207578155U | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 宗艳民;柏文文;孙诗甫 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/02 | 分类号： | B24B37/02;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，包括研磨模具和机架，所述机架的两侧固定连接于侧板的底部，所述侧板的内侧固定连接于导柱的一端，所述导柱的另一端滑动套接于导套的内腔中，所述导套固定连接于研磨模具的外侧，所述研磨模具与侧板之间还安装有第二气缸，所述机架的两端固定连接于龙门架的底部，所述龙门架上固定连接有第一气缸，所述第一气缸的伸缩端通过转轴转动连接有夹座，所述夹座内夹持固定有待研磨的晶棒。本实用新型通过弹簧可以逐渐增加研磨模具对晶棒的研磨厚度，通过控制研磨模具的内径可以精确的控制晶棒的研磨精度，晶棒的研磨精度和研磨效率大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 晶棒 模具 侧板 气缸 本实用新型 研磨装置 龙门架 碳化硅 导套 导柱 夹座 滑动套接 两端固定 研磨效率 逐渐增加 转轴转动 内腔中 伸缩端 弹簧 内夹 加工 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，包括研磨模具(1)和机架(10)，其特征在于：所述机架(10)的两侧固定连接于侧板(12)的底部，所述侧板(12)的内侧固定连接于导柱(7)的一端，所述导柱(7)的另一端滑动套接于导套(6)的内腔中，所述导套(6)固定连接于研磨模具(1)的外侧，所述研磨模具(1)与侧板(12)之间还安装有第二气缸(11)，所述机架(10)的两端固定连接于龙门架(3)的底部，所述龙门架(3)上固定连接有第一气缸(2)，所述第一气缸(2)的伸缩端通过转轴(5)转动连接有夹座(15)，所述夹座(15)内夹持固定有待研磨的晶棒(4)。
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