[实用新型]一种碳化硅加工用晶棒研磨装置

说明书

本实用新型公开了一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，包括研磨模具和机架，所述机架的两侧固定连接于侧板的底部，所述侧板的内侧固定连接于导柱的一端，所述导柱的另一端滑动套接于导套的内腔中，所述导套固定连接于研磨模具的外侧，所述研磨模具与侧板之间还安装有第二气缸，所述机架的两端固定连接于龙门架的底部，所述龙门架上固定连接有第一气缸，所述第一气缸的伸缩端通过转轴转动连接有夹座，所述夹座内夹持固定有待研磨的晶棒。本实用新型通过弹簧可以逐渐增加研磨模具对晶棒的研磨厚度，通过控制研磨模具的内径可以精确的控制晶棒的研磨精度，晶棒的研磨精度和研磨效率大大提高。

技术领域

本实用新型属于碳化硅加工装置技术领域，具体涉及一种碳化硅加工用晶棒研磨装置。

背景技术

碳化硅，是刚玉宝石中除红色的红宝石之外，其它颜色刚玉宝石的通称，主要成分是氧化铝(Al2O3)，碳化硅具有高声速、高硬度、高强度、耐高温、抗腐蚀性、光学穿透带宽、绝缘性好等优良性能，因而被大量用在光学元件、红外装置及光罩材料上，是光电领域内一种重要的基础性材料。在晶棒成型之后首先要对晶棒表面进行抛光研磨，现有晶棒研磨设备研磨精度难以控制，导致晶棒损耗增加，研磨效率低。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅加工用晶棒研磨装置，包括研磨模具和机架，所述机架的两侧固定连接于侧板的底部，所述侧板的内侧固定连接于导柱的一端，所述导柱的另一端滑动套接于导套的内腔中，所述导套固定连接于研磨模具的外侧，所述研磨模具与侧板之间还安装有第二气缸，所述机架的两端固定连接于龙门架的底部，所述龙门架上固定连接有第一气缸，所述第一气缸的伸缩端通过转轴转动连接有夹座，所述夹座内夹持固定有待研磨的晶棒。

优选的，所述导套的内腔中安装有弹簧。

优选的，所述研磨模具呈半环形结构，并相对设置，所述研磨模具的内壁上固定连接有一层研磨层，且相对设置的研磨模具的边缘设置有彼此相互配合的定位销和定位孔。

优选的，其中一个所述夹座上的转轴的一端连接于电机的输出轴。

优选的，所述晶棒位于研磨模具合模时的圆心处。

优选的，所述机架上安装有收集槽，所述收集槽位于研磨模具的正下方。

本实用新型的技术效果和优点：该碳化硅加工用晶棒研磨装置，通过弹簧可以推动导套，进而将研磨模具向晶棒推动，逐渐增加研磨的厚度，当研磨模具通过定位销和定位孔完成合模时，经过研磨后的晶棒的直径和研磨模具合模 时形成的内径相同，完成研磨，通过控制研磨模具的内径可以精确的控制晶棒的研磨精度，晶棒的研磨精度和研磨效率大大提高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的侧视构示意图；

图3为本实用新型的图1中A处放大结构示意图。

图中：1研磨模具、101定位销、102定位孔、2第一气缸、3龙门架、4晶棒、5转轴、6导套、7导柱、8弹簧、9收集槽、10机架、11第二气缸、12侧板、13研磨层、14电机、15夹座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。