[实用新型]一种单晶硅生产用过滤清洗装置有效

专利信息
申请号: 201720774991.8 申请日: 2017-06-29
公开(公告)号: CN207628770U 公开(公告)日: 2018-07-20
发明(设计)人: 陈跃骅 申请(专利权)人: 浙江旭盛电子有限公司
主分类号: B08B1/00 分类号: B08B1/00;B08B3/10
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 钱磊
地址: 324300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种单晶硅生产用过滤清洗装置,包括机体外壳,所述机体外壳的下端四周均固定连接有支撑腿,所述机体外壳的外壁两侧对称固定连接有固定板,且固定板的上端安装有第一驱动电机,所述第一驱动电机的一侧通过第一转轴连接有转盘,且转盘的外壁一侧固定连接有偏心轴,所述偏心轴远离转盘的一端转动连接有活动杆,且活动杆远离偏心轴的一端转动连接有连接杆,所述连接杆水平穿过机体外壳的外壁向内延伸端固定连接有清洗槽,所述清洗槽的下端内壁设有过滤网,且过滤网的上端设有第一毛刷,所述联轴器远离第二转轴的一端设有丝杆。实用新型结构简单,易操作,能够对单晶硅片的表面杂质进行有效清洗,提高了产品质量。
搜索关键词: 机体外壳 偏心轴 转盘 过滤清洗装置 单晶硅生产 驱动电机 转动连接 上端 固定板 过滤网 活动杆 连接杆 清洗槽 外壁 本实用新型 表面杂质 单晶硅片 对称固定 水平穿过 外壁两侧 下端内壁 转轴连接 联轴器 延伸端 支撑腿 毛刷 丝杆 下端 向内 转轴 清洗
【主权项】:
1.一种单晶硅生产用过滤清洗装置,包括机体外壳(1),其特征在于:所述机体外壳(1)的下端四周均固定连接有支撑腿,所述机体外壳(1)的外壁两侧对称固定连接有固定板(3),且固定板(3)的上端安装有第一驱动电机(4),所述第一驱动电机(4)的一侧通过第一转轴连接有转盘(5),且转盘(5)的外壁一侧固定连接有偏心轴,所述偏心轴远离转盘(5)的一端转动连接有活动杆(6),且活动杆(6)远离偏心轴的一端转动连接有连接杆(7),所述连接杆(7)水平穿过机体外壳(1)的外壁向内延伸端固定连接有清洗槽(2),所述清洗槽(2)的下端内壁设有过滤网(8),且过滤网(8)的上端设有第一毛刷(9),所述机体外壳(1)的上端一侧设有第二驱动电机(16),且第二驱动电机(16)的一侧通过第二转轴连接有联轴器(15),所述联轴器(15)远离第二转轴的一端设有丝杆(14),且丝杆(14)远离联轴器(15)的一端外壁螺纹连接有固定块(13),所述固定块(13)的下端固定连接有支撑杆(12),所述支撑杆(12)的底端通过弹簧(18)固定连接有安装板(10),且安装板(10)的底部设有第二毛刷(11)。
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