[实用新型]一种单晶硅生产用过滤清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅生产用过滤清洗装置，包括机体外壳，所述机体外壳的下端四周均固定连接有支撑腿，所述机体外壳的外壁两侧对称固定连接有固定板，且固定板的上端安装有第一驱动电机，所述第一驱动电机的一侧通过第一转轴连接有转盘，且转盘的外壁一侧固定连接有偏心轴，所述偏心轴远离转盘的一端转动连接有活动杆，且活动杆远离偏心轴的一端转动连接有连接杆，所述连接杆水平穿过机体外壳的外壁向内延伸端固定连接有清洗槽，所述清洗槽的下端内壁设有过滤网，且过滤网的上端设有第一毛刷，所述联轴器远离第二转轴的一端设有丝杆。实用新型结构简单，易操作，能够对单晶硅片的表面杂质进行有效清洗，提高了产品质量。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产加工技术领域，尤其涉及一种单晶硅生产用过滤清洗装置。

背景技术

在单晶硅生产过程中需使用清洗机对硅片进行清洗，清洗掉存在于硅片间隙的残留物及金属杂质等，由于硅片的间隙很小，很难使残留物和金属杂质溢出，导致大量油污片、花片等不合格品的出现，影响产品质量。此外，槽中的清洗液不能流动，需要频繁的更换，同时不利于单晶硅片的清洗，降低了产品质量。

实用新型内容

为了解决上述背景技术中提到的问题，本实用新型提供一种单晶硅生产用过滤清洗装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种单晶硅生产用过滤清洗装置，包括机体外壳，所述机体外壳的下端四周均固定连接有支撑腿，所述机体外壳的外壁两侧对称固定连接有固定板，且固定板的上端安装有第一驱动电机，所述第一驱动电机的一侧通过第一转轴连接有转盘，且转盘的外壁一侧固定连接有偏心轴，所述偏心轴远离转盘的一端转动连接有活动杆，且活动杆远离偏心轴的一端转动连接有连接杆，所述连接杆水平穿过机体外壳的外壁向内延伸端固定连接有清洗槽，所述清洗槽的下端内壁设有过滤网，且过滤网的上端设有第一毛刷，所述机体外壳的上端一侧设有第二驱动电机，且第二驱动电机的一侧通过第二转轴连接有联轴器，所述联轴器远离第二转轴的一端设有丝杆，且丝杆远离联轴器的一端外壁螺纹连接有固定块，所述固定块的下端固定连接有支撑杆，所述支撑杆的底端通过弹簧固定连接有安装板，且安装板的底部设有第二毛刷。

优选地，所述清洗槽的底壁为敞开式，且清洗槽的底部与外部连通。

优选地，所述支撑杆的外壁两侧对称连接有限位杆，且机体外壳的内壁设有与限位杆对应的限位槽。

优选地，所述过滤网的孔径小于单晶硅片的直径。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：首先启动第一驱动电机，第一转轴带动转盘旋转，转盘再通过偏心轴带动活动杆转动，从而使得连接杆水平移动，进而实现清洗槽的水平往返运动，将单晶硅片放置于第一毛刷的上端，并在清洗槽的水平移动下进行过滤清洗，且清洗槽的底壁为敞开式，并与外部连通，便于清洗液的流通，使得单晶硅片的清洗效果更好，此时，再启动第二驱动电机，使得第二转轴通过联轴器带动丝杆转动，由于丝杆的一端外壁螺纹连接有固定块，丝杆带动固定块水平移动，同时在限位杆的作用下进行限位，避免晃动，而支撑杆的底端通过弹簧固定连接有安装板，且安装板的底部设有第二毛刷，第二毛刷能够对单晶硅片的外表面进行清洗，提高清洗效果。本实用新型结构简单，易操作，能够对单晶硅片的表面杂质进行有效清洗，提高了产品质量，该装置使用便捷巧妙，适宜广泛推广。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的侧视图。

图中：机体外壳1、清洗槽2、固定板3、第一驱动电机4、转盘5、活动杆6、连接杆7、过滤网8、第一毛刷9、安装板10、第二毛刷11、支撑杆12、固定块13、丝杆14、联轴器15、第二驱动电机16、限位杆17、弹簧18。

具体实施方式