[实用新型]一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置有效
| 申请号： | 201720749586.0 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN207276696U | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 龙俊舟;杨弘 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置，所述预处理反应腔包括一石英锅，所述冷却装置包括空气喷送组件，所述空气喷送组件设置在所述石英锅的上方，所述空气喷送装置底部均匀设有多个空气喷送口，用以向所述石英锅上表面喷送预定温度的空气。本实用新型的有益效果将罩体内原有的风扇去除，用空气喷送组件替代原有的风扇，通过空气喷送组件向石英锅上方喷洒预定温度的空气，通过预定温度的空气均匀的流到石英锅外表面，使石英锅能得到均匀的冷却效果，使石英锅温差问题得到极大改善，同时石英锅内控片的微粒数据也得到改善。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 预处理 反应 冷却 效率 装置 | ||
【主权项】：
一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置，所述预处理反应腔包括一石英锅，其特征在于，所述冷却装置包括：空气喷送组件，所述空气喷送组件设置在所述石英锅的上方，所述空气喷送装置底部均匀设有多个空气喷送口，用以向所述石英锅上表面喷送预定温度的空气。
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