[实用新型]一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置

权利要求书

1.一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置，所述预处理反应腔包括一石英锅，其特征在于，所述冷却装置包括：

空气喷送组件，所述空气喷送组件设置在所述石英锅的上方，所述空气喷送装置底部均匀设有多个空气喷送口，用以向所述石英锅上表面喷送预定温度的空气。

2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述空气喷送组件包括：

空气输送管，所述空气输送管用于输送所述预定温度的空气；

空气喷头，所述空气喷头连接在所述空气输送管的一输出端，所述空气喷头位于所述石英锅的正上方，所述空气喷头底部均匀设有所述多个空气喷送口。

3.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述预处理反应腔还包括：

一罩体，所述罩体设置在所述石英锅的上方；

所述空气喷头位于所述罩体内。

4.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述空气输送管上设有调压阀。