[实用新型]一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及物理气相沉积技术领域，尤其涉及一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置。

背景技术

物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)制程在进入膜制备(film dep)制程前，都会用到预清理(Pre-clean)制程去除晶圆表面氧化物。Pre-clean反应腔也成为PVD机台的标准配置。

如图1所示，现有Pre-clean设备对石英锅2(Bell-jar)采用顶部风扇1冷却，由于风扇1普遍存在中心区没有气流的缺陷，直接导致跑货时石英锅2顶部温度上升比其他区域快，当连续用还原式跑货时，该现象尤其明显。根据实验显示，随着跑货进行，石英锅2上的温差越来越大，石英锅2内表面的石英是采用喷砂的方式镀上去，当温差增大，应力也会增大，造成内表面脱落，石英锅2内有晶元(wafer)，当连续跑三批货时，石英锅2顶部和其它区域温差能达到20摄氏度，石英锅2内表面膨胀系数不一样，会有石英砂脱落，掉落到产品表面造成产品缺陷，严重时会直接造成产品报废。

因此，亟需设计一种简单且低成本化的方法，通过对Pre-clean机台冷却系统的改良，提高对石英锅的冷却效率。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种能够提高对预处理反应腔的石英锅冷却效率的冷却装置。

本实用新型采用如下技术方案：

一种提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置，所述预处理反应腔包括一石英锅，所述冷却装置包括：

空气喷送组件，所述空气喷送组件设置在所述石英锅的上方，所述空气喷送装置底部均匀设有多个空气喷送口，用以向所述石英锅上表面喷送预定温度的空气。

优选的，所述空气喷送组件包括：

空气输送管，所述空气输送管用于输送所述预定温度的空气；

空气喷头，所述空气喷头连接在所述空气输送管的一输出端，所述空气喷头位于所述石英锅的正上方，所述空气喷头底部均匀设有所述多个空气喷送口。

优选的，所述预定温度不大于40℃。

优选的，所述预定温度的空气为干燥空气。

优选的，所述预处理反应腔还包括：

一罩体，所述罩体设置在所述石英锅的上方；

所述空气喷头位于所述罩体内。

优选的，所述空气输送管上设有调压阀。

本实用新型的有益效果：将罩体内原有的风扇去除，用空气喷送组件替代原有的风扇，通过空气喷送组件向石英锅上方喷洒预定温度的空气，通过预定温度的空气均匀的流到石英锅外表面，使石英锅能得到均匀的冷却效果，使石英锅温差问题得到极大改善，同时石英锅内控片的微粒数据也得到改善。

附图说明

图1为现有技术中，Pre-clean设备对石英锅(Bell-jar)采用顶部风扇冷却的使用示意图；

图2为本实用新型的一种优选实施例中，提高对预处理反应腔的冷却效率的冷却装置的使用示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，下述技术方案，技术特征之间可以相互组合。

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明：

如图2所示，一种提高对预处理反应腔6的冷却效率的冷却装置，所述预处理反应腔6包括一石英锅2，所述冷却装置包括：

空气喷送组件，所述空气喷送组件设置在所述石英锅2的上方，所述空气喷送装置底部均匀设有多个空气喷送口(图中未示出)，用以向石英锅2上表面喷送预定温度的空气。

进一步的，所述空气喷送组件包括：

空气输送管4，所述空气输送管4用于输送预定温度的空气；

空气喷头3，所述空气喷头3连接在所述空气输送管4的一输出端，所述空气喷头3位于所述石英锅2的正上方，所述空气喷头3底部均匀设有所述多个空气喷送口。

进一步的，预定温度不大于40℃，具体使用时，可根据需要调整空气的预定温度。

进一步的，预定温度的空气为干燥空气。

进一步的，所述预处理反应腔6还包括：

一罩体(图中未示出)，所述罩体设置在所述石英锅2的上方；

所述空气喷头3位于所述罩体内。

进一步的，所述空气输送管4上设有调压阀5。