[实用新型]多晶硅还原炉的电极有效
申请号: | 201720739277.5 | 申请日: | 2017-06-23 |
公开(公告)号: | CN206872435U | 公开(公告)日: | 2018-01-12 |
发明(设计)人: | 罗文富;黄国良;罗传熙 | 申请(专利权)人: | 厦门佰事兴新材料科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司35218 | 代理人: | 何家富 |
地址: | 361000 福建省厦门*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开一种多晶硅还原炉的电极,其包括能与石墨座锥孔配合的锥头,及中心设置有水冷空腔的电极体,所述电极体周围穿套有绝缘套筒且其与锥头固定相连,其中电极体与锥头对接相连的一段为连接段;该连接段与锥头外表面均设置有粗化层,所述连接段与锥头的粗化层上分别喷涂有结合层,而结合层的外表面设置有外涂层;其中,所述结合层与外涂层之间设置有加强结合层,该加强结合层为设置于结合层外表面的粗化处理层。本实用新型在结合层及外涂层之间增加一加强结合层,该加强结合层为于结合层外表面进行拉毛工艺处理形成凸点状的层结构,有效增加结合层与外涂层直接的结合力,进一步避免喷涂层脱离等显现出现。 | ||
搜索关键词: | 多晶 还原 电极 | ||
【主权项】:
多晶硅还原炉的电极,其特征在于:其包括能与石墨座锥孔配合的锥头,及中心设置有水冷空腔的电极体,所述电极体周围穿套有绝缘套筒且其与锥头固定相连,其中电极体与锥头对接相连的一段为连接段;该连接段与锥头外表面均设置有粗化层,所述连接段与锥头的粗化层上分别喷涂有结合层,而结合层的外表面设置有外涂层;其中,所述结合层与外涂层之间设置有加强结合层,该加强结合层为设置于结合层外表面的粗化处理层。
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