[实用新型]一种单晶硅片清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅片清洗装置，包括横梁、底座和支撑座，所述底座位于横梁的正下方，所述底座的顶部设有支腿，所述支腿的顶部设有水箱，所述水箱顶部开口设置，所述水箱的底部安装有超声波发生器，所述水箱内底部设有换能器，所述水箱的右侧壁顶部连接有进水管，所述水箱的右侧壁底部连接有出水管，所述横梁顶部的右侧安装有电机，所述横梁上还设有卷筒架，所述卷筒架上转动连接有卷筒，所述电机输出端连接到卷筒，所述卷筒上缠绕有钢丝绳，所述钢丝绳的底端连接到起吊环。避免互相堆叠，清洗效果好，工作效率高，将单晶硅片表面的杂质清理干净，防止互相碰撞，具有很好的防护效果。

主权项

一种单晶硅片清洗装置，包括横梁（1）、底座（2）和支撑座（13），其特征在于：所述底座（2）位于横梁（1）的正下方，所述底座（2）的顶部设有支腿（3），所述支腿（3）的顶部设有水箱（4），所述水箱（4）顶部开口设置，所述水箱（4）的底部安装有超声波发生器（5），所述水箱（4）内底部设有换能器（6），所述水箱（4）的右侧壁顶部连接有进水管（7），所述水箱（4）的右侧壁底部连接有出水管（8），所述支撑座（13）的中间设有钢丝网（16），所述钢丝网（16）的顶部设有存放壳体（17），所述存放壳体（17）上均匀的开设有存放槽（19），所述存放槽（19）的底部开设有漏水孔（20），所述支撑座（13）顶部的左右两侧对称设有支架（14），所述支架（14）的顶部设有起吊环（15），所述横梁（1）顶部的右侧安装有电机（9），所述横梁（1）上还设有卷筒架（10），所述卷筒架（10）上转动连接有卷筒（11），所述电机（9）输出端连接到卷筒（11），所述卷筒（11）上缠绕有钢丝绳（12），所述钢丝绳（12）的底端连接到起吊环（15）。