[实用新型]一种单晶硅片清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片技术领域，具体为一种单晶硅片清洗装置。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域，在军事电子设备中也占有重要地位。在光伏技术和微小型半导体逆变器技术飞速发展的今天，利用硅单晶所生产单晶硅的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能，实现了迈向绿色能源革命的开始。北京2008年奥运会将把“绿色奥运”做为重要展示面向全世界展现，单晶硅的利用在其中将是非常重要的一环。现在，国外的太阳能光伏电站已经到了理论成熟阶段，正在向实际应用阶段过渡，太阳能硅单晶的利用将是普及到全世界范围，市场需求量不言而喻。

现有技术中的单晶硅片在清洗过程中，单晶硅片堆叠在一起，清洗效率低下，缺少防护措施，不适合推广使用。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片清洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片清洗装置，包括横梁、底座和支撑座，所述底座位于横梁的正下方，所述底座的顶部设有支腿，所述支腿的顶部设有水箱，所述水箱顶部开口设置，所述水箱的底部安装有超声波发生器，所述水箱内底部设有换能器，所述水箱的右侧壁顶部连接有进水管，所述水箱的右侧壁底部连接有出水管，所述支撑座的中间设有钢丝网，所述钢丝网的顶部设有存放壳体，所述存放壳体上均匀的开设有存放槽，所述存放槽的底部开设有漏水孔，所述支撑座顶部的左右两侧对称设有支架，所述支架的顶部设有起吊环，所述横梁顶部的右侧安装有电机，所述横梁上还设有卷筒架，所述卷筒架上转动连接有卷筒，所述电机输出端连接到卷筒，所述卷筒上缠绕有钢丝绳，所述钢丝绳的底端连接到起吊环。

优选的，所述进水管和出水管的端部均连接有法兰，所述法兰上设有密封圈。

优选的，所述支腿和水箱之间焊接，所述支腿和水箱的连接处设有加强筋。

优选的，所述存放槽为半圆形，所述存放槽的宽度不小于5mm。

优选的，所述存放槽之间的间隔距离在3mm-5mm之间。

优选的，所述起吊环设置四组，所述支架和起吊环之间焊接。

优选的，所述存放壳体通过螺栓固定于支架。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构新颖，操作方便，避免互相堆叠，利用超声波清洗原理，清洗效果好，工作效率高，将单晶硅片表面的杂质清理干净，防止互相碰撞，具有很好的防护效果，具有很高的实用性，大大提升了该一种单晶硅片清洗装置的使用功能性，保证其使用效果和使用效益，适合广泛推广。

附图说明

图1为本实用新型一种单晶硅片清洗装置的结构示意图。

图2为本实用新型一种单晶硅片清洗装置的起吊时结构示意图。

图3为本实用新型一种单晶硅片清洗装置的存放壳体俯视结构示意图。

图4为本实用新型一种单晶硅片清洗装置的A-A剖视结构示意图。

图中：1横梁、2底座、3支腿、4水箱、5超声波发生器、6换能器、7进水管、8出水管、9电机、10卷筒架、11卷筒、12钢丝绳、13支撑座、14支架、15起吊环、16钢丝网、17存放壳体、18螺栓、19存放槽、20漏水孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。