[实用新型]一种单晶硅片清洗烘干一体化装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅片清洗烘干一体化装置，包括顶板，所述顶板两侧安装有第一电机，所述气缸底部输出端安装有连接板，所述连接板底部安装有第二电机，所述第二电机输出端设有第二转轴，所述第二转轴底部安装有放置箱，所述第一清洗箱左侧设有超声波发生器，所述第一清洗箱内底部对应安装有换能器，所述第一清洗箱、第二清洗箱和烘干箱顶部均设有凸沿，所述第二清洗箱左侧顶部设有进气口，所述第二清洗箱右侧底部设有出气口，所述烘干箱右侧设有热风机，所述烘干箱内右侧壁设有导风板，本实用新型一种单晶硅片清洗烘干一体化装置，形成清洗烘干一体化处理方式，提高了硅片的清洗效率，清洗效果良好，具有很高的实用性。

主权项

一种单晶硅片清洗烘干一体化装置，包括顶板（1），其特征在于：所述顶板（1）两侧安装有第一电机（2），所述第一电机（2）输出端设有第一转轴（3），所述顶板（1）底部滑动连接有气缸（4），所述第一转轴（3）通过钢丝绳（5）连接于气缸（4），所述气缸（4）底部输出端安装有连接板（6），所述连接板（6）底部安装有第二电机（7），所述第二电机（7）输出端设有第二转轴（8），所述第二转轴（8）底部安装有放置箱（9），所述放置箱（9）底部从左至右依次设有第一清洗箱（10）、第二清洗箱（11）和烘干箱（12），所述第一清洗箱（10）左侧设有超声波发生器（13），所述第一清洗箱（10）内底部对应安装有换能器（14），所述第一清洗箱（10）、第二清洗箱（11）和烘干箱（12）顶部均设有凸沿（15），所述第二清洗箱（11）左侧顶部设有进气口（16），所述第二清洗箱（10）右侧底部设有出气口（17），所述烘干箱（12）右侧设有热风机（18），所述热风机（18）上的出风管贯穿烘干箱（12）设置，所述烘干箱（12）内右侧壁设有导风板（19），所述烘干箱（12）内一侧开设有透气孔。