[实用新型]一种单晶硅片清洗烘干一体化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅技术领域，具体为一种单晶硅片清洗烘干一体化装置。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

单晶硅片在加工过程中需要经常进行清洗，现有的清洗设备均为独立的个体，需要在多个设备上进行不同方式的清洗，清洗效率低下，导致生产成本较高。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片清洗烘干一体化装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片清洗烘干一体化装置，包括顶板，所述顶板两侧安装有第一电机，所述第一电机输出端设有第一转轴，所述顶板底部滑动连接有气缸，所述第一转轴通过钢丝绳连接于气缸，所述气缸底部输出端安装有连接板，所述连接板底部安装有第二电机，所述第二电机输出端设有第二转轴，所述第二转轴底部安装有放置箱，所述放置箱底部从左至右依次设有第一清洗箱、第二清洗箱和烘干箱，所述第一清洗箱左侧设有超声波发生器，所述第一清洗箱内底部对应安装有换能器，所述第一清洗箱、第二清洗箱和烘干箱顶部均设有凸沿，所述第二清洗箱左侧顶部设有进气口，所述第二清洗箱右侧底部设有出气口，所述烘干箱右侧设有热风机，所述热风机上的出风管贯穿烘干箱设置，所述烘干箱内右侧壁设有导风板，所述烘干箱内一侧开设有透气孔。

优选的，所述气缸两侧设有连接环，所述钢丝绳连接于连接环。

优选的，所述放置箱底部铰接有箱盖，所述放置箱侧面设有钢丝网。

优选的，所述连接板和第一清洗箱、第二清洗箱和烘干箱顶部的凸沿的配合关系为间隙配合。

优选的，所述热风机底部设有三角架，所述三角架焊接于烘干箱。

优选的，所述导风板上均匀开设有导风孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型一种单晶硅片清洗烘干一体化装置，结构新颖，操作方便，通过第一电机驱动气缸调整至第一清洗箱顶部，通过气缸将装有单晶硅片的放置箱放入第一清洗箱并加入清洗液，利用超声波原理，通过超声波发生器和换能器的作用对硅片进行清洗，同样的方式放入第一清洗箱内，连接板和第二清洗箱顶部的凸沿完全贴合，通过进气口朝第二清洗箱内通入HF气体，进行气相干洗，放置箱引入烘干箱内，通过热风机将硅片烘干，形成清洗烘干一体化处理方式，提高了硅片的清洗效率，而且采用两种清洗方式清洗硅片，清洗效果良好，降低了生产成本，具有很高的实用性，大大提升了该一种单晶硅片清洗烘干一体化装置的使用功能性，保证其使用效果和使用效益，适合广泛推广。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型第一清洗箱顶部部分结构示意图。

图3为本实用新型A处放大结构示意图。

图中：1顶板、2第一电机、3第一转轴、4气缸、5钢丝绳、6连接板、7第二电机、8第二转轴、9放置箱、10第一清洗箱、11第二清洗箱、12烘干箱、13超声波发生器、14换能器、15凸沿、16出气口、17出气口、18热风机、19导风板、20三角架、21连接环。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。