[实用新型]一种高效型图案显示装置

摘要

本实用新型公开了一种高效型图案显示装置，包括真空腔室、喷嘴、基体载物台和真空装置，真空腔室上方嵌套有喷嘴，喷嘴内部嵌套有喷出机构，基体载物台上方设置有基体，基体载物台下方安装有移动机构，喷嘴和基体之间连接有喷嘴孔，喷嘴一侧固定有材料供给室，材料供给室上下方均安装有加热机构，材料供给室一侧连接有载气供给源，真空腔室内部安装有测气压管，测气压管尾部连接有测气压针，真空腔室外部安装有气压表，移动机构下方固定有经配管，经配管嵌套于真空腔室下方，经配管下方连接有连接软管，连接软管尾部安装有真空装置，真空装置底部设置有移动脚架，该实用新型自由度高，精度高，工作效率高。

主权项

一种高效型图案显示装置，其特征在于：包括真空腔室（5）、喷嘴（1）、基体载物台（14）和真空装置（16），所述真空腔室（5）上方嵌套有所述喷嘴（1），所述喷嘴（1）内部嵌套有喷出机构（2），所述基体载物台（14）上方设置有基体（13），所述基体载物台（14）下方安装有移动机构（15），所述喷嘴（1）和所述基体（13）之间连接有喷嘴孔（4），所述喷嘴（1）一侧固定有材料供给室（10），所述材料供给室（10）上下方均安装有加热机构（12），所述材料供给室（10）一侧连接有载气供给源（11），所述真空腔室（5）内部安装有测气压管（6），所述测气压管（6）尾部连接有测气压针（7），所述真空腔室（5）外部安装有气压表（3），所述移动机构（15）下方固定有经配管（8），所述经配管（8）嵌套于所述真空腔室（5）下方，所述经配管（8）下方连接有连接软管（9），所述连接软管（9）尾部安装有真空装置（16），所述真空装置（16）底部设置有移动脚架（17）。