[实用新型]一种饱和用管式PECVD石墨舟卡点半保护结构

摘要

本实用新型公开了一种饱和用管式PECVD石墨舟卡点半保护结构。包括石墨舟片若干、用于固定硅片的多个卡点、相邻石墨舟片对应位置处的卡点之间套半镂空陶瓷环。该饱和用管式PECVD石墨舟，能够有效保护卡槽不被沉积氮化硅，而卡点上表面饱和氮化硅，从而改善电池片镀膜均匀性和降低色差返工比例。

主权项

一种饱和用管式PECVD石墨舟卡点半保护结构，包括：石墨舟片、卡点、大圆柱、中圆柱、小圆柱、凹型卡槽、陶瓷环，其特征在于：若干个石墨舟片，每一个石墨舟片上均固定的设置有若干个卡点；所述的每一个卡点的一端均置于其所在的石墨舟片的一侧，上述的每一个卡点的另一端穿过其所在的石墨舟片，并置于上述的石墨舟片的另一侧；每两个相邻的石墨舟片上对应位置的两个卡点之间均通过一个陶瓷环相套接；所述的每一个卡点均由：一个大圆柱，两个直径相等的中圆柱，两个直径相等的小圆柱构成，上述的大圆柱的一端置于一个石墨舟片的一侧，上述的大圆柱的另一端穿过上述的石墨舟片，并置于上述的石墨舟片的另一侧；上述的大圆柱的左右两个圆形端面分别通过一个小圆柱与一个中圆柱的一侧固定相连；所述的大圆柱与每个中圆柱之间均形成一个凹型卡槽；所述的一个陶瓷环的一端套入一块石墨舟片上的中圆柱与小圆柱，上述的陶瓷环的另一端套入相邻一块石墨舟片上对应位置的中圆柱与小圆柱。