[实用新型]一种浮动真空机构有效
| 申请号： | 201720593825.8 | 申请日： | 2017-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN207033677U | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 杨娅;谈万华;张智;曾繁春;刘丽梅 | 申请（专利权）人： | 深圳连硕自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/00 | 分类号： | F04B39/00 |
| 代理公司： | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙)44451 | 代理人： | 黎健任 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种浮动真空机构，其包括真空腔体、顶升腔体、真空平台、固定底板和活塞轴，所述顶升腔体通过弹性支撑构件与固定底板连接；所述真空平台与活塞轴的一端连接，所述活塞轴的另一端穿过顶升腔体的底部与固定底板连接；所述顶升腔体与活塞轴之间密封连接。采用本实用新型的技术方案，顶升腔体与真空平台采用柔性的密封连接，腔体变形不影响真空平台，这样在进行抽真空时，保证真空平台不会倾斜或晃动；简化了真空腔体平面度加工精度要求，改善了加工难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 浮动 真空 机构 | ||
【主权项】：
一种浮动真空机构，其包括真空腔体、顶升腔体和真空平台，其特征在于：其包括固定底板和活塞轴，所述顶升腔体通过弹性支撑构件与固定底板连接；所述真空平台与活塞轴的一端连接，所述活塞轴的另一端穿过顶升腔体的底部与固定底板连接；所述顶升腔体与活塞轴之间密封连接。
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