[实用新型]一种浮动真空机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空装置，尤其涉及一种浮动真空机构。

背景技术

随着国家节能减排的政策推出，真空技术行业快速发展，对真空产品性能要求不断提高，产品的尺寸公差要求更高，直接影响到产品性能。 现有产品维修率和报废率极高。产品使用寿命没有保障，大大增加了产品成本；也不利于资源节约和环保。

现有真空机构一般是固定的真空空间，如图1所示，真空腔体1与工作台面4连接，真空平台3位于工作台面4之间，顶升腔体2位于工作台面4的下方，在真空操作时，真空腔体1受真空压力的影响，会使顶升腔体2变动或者变形，影响到真空平台3倾斜或晃动，同样放在真空平台3的产品也会产生位移，导致产品位置不准确，或者厚度不均匀，出现很高的报废率。所以，现有技术的顶升腔体2很难保证贴合间隙及装配精度，装配难度大；加工精度要求非常高，给加工困难；增加了加工成本。

实用新型内容

针对以上技术问题，本实用新型公开了一种浮动真空机构，在进行抽真空时，保证真空平台不会倾斜或晃动。

对此，本实用新型的技术方案为：

一种浮动真空机构，其包括真空腔体、顶升腔体和真空平台，其还包括固定底板和活塞轴，所述顶升腔体通过弹性支撑构件与固定底板连接；所述真空平台与活塞轴的一端连接，所述活塞轴的另一端穿过顶升腔体的底部与固定底板连接；所述顶升腔体与活塞轴之间密封连接。

采用此技术方案，真空平台通过活塞轴支撑，并不受顶升腔体的影响；顶升腔体与真空平台采用密封连接，腔体变形不影响真空平台，这样在进行抽真空时，保证真空平台不会倾斜或晃动。

作为本实用新型的进一步改进，其包括活塞套，所述活塞套套在活塞轴外，所述活塞套通过密封法兰与顶升腔体的底部连接，所述密封法兰位于活塞套的底部。

作为本实用新型的进一步改进，所述活塞套的顶部与顶升腔体的底部之间设有胶垫，所述胶垫的一端凸出于活塞套的侧壁，并通过压紧法兰与顶升腔体的底部连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述活塞轴与活塞套之间设有O型密封圈。

作为本实用新型的进一步改进，所述活塞轴为至少两个，对称设置在真空平台的底部，所述活塞套的数量与活塞轴对应。

作为本实用新型的进一步改进，所述活塞轴底部通过调节螺栓与固定底板连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述弹性支撑构件为至少两个，对称分居于所述活塞轴的外侧。

作为本实用新型的进一步改进，所述弹性支撑构件为弹簧。

作为本实用新型的进一步改进，所述顶升腔体的顶部设有腔体密封圈，抽真空工作时，所述顶升腔体通过腔体密封圈与工作台面连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

第一，采用本实用新型的技术方案，顶升腔体与真空平台采用柔性的密封连接，腔体变形不影响真空平台，这样在进行抽真空时，保证真空平台不会倾斜或晃动。

第二，采用本实用新型的技术方案，真空平台不受顶升腔体加工精度及变形的影响，同时依据现有的真空工作环境和加工手段，真空腔体结构合理的改进，简化了真空腔体平面度加工精度要求，改善了加工难度；改善了对装配和调试的难度，和现有技术的机型相比，机构紧凑，腔体体积明显缩小很多，有效提高了抽真空的速度，或者在相同速度下选择较小的真空泵。提高了真空腔体的可靠性能和使用寿命，降低了装配工艺复杂性，保证产品平面度在可接受范围之内，明显降低了采购成本，避免了关键技术的瓶颈制约。

附图说明

图1是本实用新型现有技术的真空机构的结构示意图。

图2是本实用新型一种浮动真空机构的结构示意图。

图3是图2中A部分的放大图。

附图标记包括：1-真空腔体，2-顶升腔体，3-真空平台，4-工作台面，5-固定底板，6-活塞轴，7-活塞套，8-弹簧，9-胶垫，10-压紧法兰，11-O型密封圈，12-调节螺栓，13-腔体密封圈，14-密封法兰。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的较优的实施例作进一步的详细说明。